第一章透射电子显微镜的原理和构造 1.1入射电子在固体样品中所激发的信号及其 体积 1.1.1激发的信号 入射电子束 特征X射线 背散射电子 阴极荧光 二次电子 吸收电子或 束感生电效应 样品 样品电流 透射电子
第一章 透射电子显微镜的原理和构造 1.1 入射电子在固体样品中所激发的信号及其 体积 1.1.1激发的信号
1.1.1激发的信号 1.二次电子，小于50eV; 2.背散射电子，大于50eV; 3.吸收电子，不能逸出样品表面的电子； 4.特征X射线 (0.1keV-14keV) h.c k (E-EL)
1.1.1激发的信号 1. 二次电子， 小于50eV； 2. 背散射电子 ，大于50eV； 3. 吸收电子，不能逸出样品表面的电子； 4. 特征X射线 (0.1keV-14keV) ( ) 2 2 k L k E E h c
1.1.1激发的信号 5.透射电子，弹性散射，等于或接近入射电子 能量 Incident electrons (electron gun,acceleration tube) Characteristic X-rays Back-scattered (EDS) electrons Secondary electrons Cathodeluminescence Auger electrons Specimen holder Specimen (column,holder Elastic,inelastic scattering (EELS) Transmitted electrons
1.1.1激发的信号 5. 透射电子,弹性散射，等于或接近入射电子 能量
1.1.2电子束激发体积 射电子束 入射电子束直径 样品表面 俄歇电子激发体积 二次电子激发体积 入射电子束 6背散射父 电子激发体积 初级X射线激发体积 E=E E=0 (a) (b)
1.1.2 电子束激发体积
1.1.2电子束激发体积 背散射电子能量很高，穿透能力比二次电子强得 多，可以从样品较深的区域逸出（约为有效穿透 深度的30%左右)。在这样的深度范围，入射电 子已经有了相当宽度的侧向扩展。在样品上方检 测到的背散射电子是来自比二次电子大得多的体 积，厅以背散射电子像分辨率要比二次电子像低， 一般在50~200nm左右。 至于吸收电子、X射线信号来自整个电子激发 体积，使所得到的扫描像的分辨率更低，一般在 100nm或lwm以上
1.1.2 电子束激发体积 • 背散射电子能量很高，穿透能力比二次电子强得 多，可以从样品较深的区域逸出（约为有效穿透 深度的30％左右）。在这样的深度范围，入射电 子已经有了相当宽度的侧向扩展。在样品上方检 测到的背散射电子是来自比二次电子大得多的体 积，所以背散射电子像分辨率要比二次电子像低， 一般在 50～200 nm左右。 • 至于吸收电子、X射线信号来自整个电子激发 体积，使所得到的扫描像的分辨率更低，一般在 100 nm或 lµm以上