绪论 1944年，Le Poole在电子显微镜中加入衍射透 镜（即中间镜)和选区光阑后实现选区电子 衍射； 20世纪50年代，Ruska在商业电子显微镜中实 现选区电子衍射； 20世纪60年代，会聚束电子衍射(W.Kossel andG.Mollenstedt in1938)在TEM实现；
绪 论 1944年，Le Poole在电子显微镜中加入衍射透 镜（即中间镜）和选区光阑后实现选区电子 衍射； 20世纪50年代，Ruska在商业电子显微镜中实 现选区电子衍射； 20世纪60年代，会聚束电子衍射(W. Kossel and G. Mollenstedt in 1938)在TEM实现；
绪论 仪器的发展 20世纪70年代，用于成分分析的X射线能谱仪(M.Siegbahn, winner of Nobel prize in1924)和电子能量损失谱仪(Ruthemann in1941- 1942)开始在TEM使用； 20世纪90年代末，M.Haider等成功制造出物镜球差系数校正器 (O.Scherzer于1947年提出球差校正的原理和方法)，校正器的问世使 球差系数从正值可变到负值，提高了电子显微镜的分辨率。 此外，照明亮度高和能量发散小的场发射电子枪的普及、极大改善 电子单色性的能量过滤器的问世、可实现电子显微像和电子衍射花样数 字化的慢扫描CCD和电子成像板的使用、仪器的计算机控制等都成为现 代高性能分析电子显微镜的基本特征
绪 论 仪器的发展 20世纪70年代，用于成分分析的X射线能谱仪（M. Siegbahn, winner of Nobel prize in 1924)和电子能量损失谱仪(Ruthemann in 1941- 1942)开始在TEM使用； 20世纪90年代末，M. Haider等成功制造出物镜球差系数校正器 （O.Scherzer于1947年提出球差校正的原理和方法），校正器的问世使 球差系数从正值可变到负值，提高了电子显微镜的分辨率。 此外，照明亮度高和能量发散小的场发射电子枪的普及、极大改善 电子单色性的能量过滤器的问世、可实现电子显微像和电子衍射花样数 字化的慢扫描CCD和电子成像板的使用 、仪器的计算机控制等都成为现 代高性能分析电子显微镜的基本特征
绪论 实验技术的进步 成像与变倍 选区电子衍射 衍衬成像（明场像，中心暗 场像，弱束暗场像) 高分辨成像（相位衬度）→ 会聚束电子 衍射（包括微/纳米衍射） ,X射线能谱和电子能量损失谱成分分析和 成像 高分辨原子序数衬度(Z衬度)成像(Crewe,1970s)→ 负球差系数成像 全息成像等
绪 论 实验技术的进步 成像与变倍 选区电子衍射 衍衬成像（明场像，中心暗 场像，弱束暗场像） 高分辨成像（相位衬度） 会聚束电子 衍射（包括微/纳米衍射） X射线能谱和电子能量损失谱成分分析和 成像 高分辨原子序数衬度（Z衬度）成像（Crewe，1970s ） 负球差系数成像 全息成像等
绪论 样品制备的发展 生物薄膜样品的制备 金属块体的复型技术(H.ahl in 1940) 块体金属样品制成薄膜方法(Heidenrech in 1949,Hirsch等in1950s:窗口法、博尔曼法、双喷电解抛光法) 凹坑研磨+离子减薄（无机非金属材料） 解理法（无机非金属材料，尤其是半导体材料） 薄膜平面和截面样品 聚焦离子束法
绪 论 样品制备的发展 生物薄膜样品的制备 金属块体的复型技术（H. Mahl in 1940) 块体金属样品制成薄膜方法（Heidenrech in 1949，Hirsch 等in1950s：窗口法、博尔曼法、双喷电解抛光法 ） 凹坑研磨＋离子减薄（无机非金属材料） 解理法（无机非金属材料，尤其是半导体材料） 薄膜平面和截面样品 聚焦离子束法
绪论 50多年的实践证明，电子显微镜是20世纪最重大的发 明之一，Ruska教授由于他的先驱工作给科学所带来的巨 大贡献，获得了1986年的诺贝尔物理学奖。在Ruska获得 诺贝尔奖后的20年里，电子显微镜仪器和实验技术又得到 长足的发展。毫无疑问，随着电子显微镜的进一步完善和 各种电子显微术的发展，电子显微镜将对科学的发展产生 不可估量的作用
绪 论 50多年的实践证明，电子显微镜是20世纪最重大的发 明之一， Ruska教授由于他的先驱工作给科学所带来的巨 大贡献，获得了1986年的诺贝尔物理学奖。在Ruska获得 诺贝尔奖后的20年里，电子显微镜仪器和实验技术又得到 长足的发展。毫无疑问，随着电子显微镜的进一步完善和 各种电子显微术的发展，电子显微镜将对科学的发展产生 不可估量的作用