三、EDS能谱分析 北亲化工大学 化学实验教学中心 Fig.3EDS能谱仪
北京化工大学 三、EDS能谱分析 化学实验教学中心 Fig3 EDS能谱仪
北章化工大学 化学实验教学中心 能谱仪(EDS,Energy Dispersive Spectrometer)是 用来对材料微区成分元素种类与含量分析，配合扫描 电子显微镜与透射电子显微镜的使用。 各种元素具有自己的X射线特征波长，特征波 长的大小则取决于能级跃迁过程中释放出的特征能 量△E,能谱仪就是利用不同元素X射线光子特征能 量不同这一特点来进行成分分析的
北京化工大学 化学实验教学中心 能谱仪(EDS, Energy Dispersive Spectrometer)是 用来对材料微区成分元素种类与含量分析，配合扫描 电子显微镜与透射电子显微镜的使用。 各种元素具有自己的X射线特征波长，特征波 长的大小则取决于能级跃迁过程中释放出的特征能 量△E，能谱仪就是利用不同元素X射线光子特征能 量不同这一特点来进行成分分析的
北京化工大学 化学实验教学中心 当光子进入检测器后，在S（Li)晶体内激发出 一定数目的电子空穴对。产生一个空穴对的最低平均 能量ε是一定的（在低温下平均为3.8ev),因此由一 个X射线光子造成的空穴对的数目N=△E/:。入射X射 线光子的能量越高，N就越大。利用加在晶体两端的 偏压收集电子空穴对，经过前置放大器转换成电流脉 冲，电流脉冲的高度取决于N的大小。电流脉冲经过 主放大器转换成电压脉冲进入多道脉冲高度分析器， 脉冲高度分析器按高度把脉冲分类进行计数，这样就 可以描出一张X射线按能量大小分布的图谱
北京化工大学 化学实验教学中心 当光子进入检测器后，在Si（Li）晶体内激发出 一定数目的电子空穴对。产生一个空穴对的最低平均 能量ε是一定的（在低温下平均为3.8ev），因此由一 个X射线光子造成的空穴对的数目N=△E/ε。入射X射 线光子的能量越高，N就越大。利用加在晶体两端的 偏压收集电子空穴对，经过前置放大器转换成电流脉 冲，电流脉冲的高度取决于N的大小。电流脉冲经过 主放大器转换成电压脉冲进入多道脉冲高度分析器， 脉冲高度分析器按高度把脉冲分类进行计数，这样就 可以描出一张X射线按能量大小分布的图谱
应用： 北章化工大学 化学实验教学中心 1、高分子、陶瓷、混凝土、生物、矿物、纤维等无 机或有机固体材料分析； 2、金属材料的相分析、成分分析和夹杂物形态成分 的鉴定； 3、可对固体材料的表面涂层、镀层进行分析，如： 金属化膜表面镀层的检测； 4、金银饰品、宝石首饰的鉴别，考古和文物鉴定， 以及刑侦鉴定等领域； 5、进行材料表面微区成分的定性和定量分析，在材 料表面做元素的面、线、点分布分析
北京化工大学 应用： 化学实验教学中心 1、高分子、陶瓷、混凝土、生物、矿物、纤维等无 机或有机固体材料分析； 2、金属材料的相分析、成分分析和夹杂物形态成分 的鉴定； 3、可对固体材料的表面涂层、镀层进行分析，如： 金属化膜表面镀层的检测； 4、金银饰品、宝石首饰的鉴别，考古和文物鉴定， 以及刑侦鉴定等领域； 5、进行材料表面微区成分的定性和定量分析，在材 料表面做元素的面、线、点分布分析