材料现代测试方法 电子探针显微分析 能谱仪 电子枪 波谱仪 主放大器 聚光镜 多道分析器 放大器 ☒ 前置 脉高分析器 ISi(Li) 晶体 放大器 ☒ ☒ 计数器 定标器 定标器 ☒ ☒ 计数率器 光学显微镜 物镜 ☐二次电子检测器 试样 电子探针仪结构示意图 16
16 材料现代测试方法 电子探针显微分析
材料现代测试方法 电子探针显微分析 2X射线波长分散谱仪 V波谱仪的基本概念 WDS:用来测定特定波长的谱仪 nX射线波长分散谱仪实际上是X射线分光光度计。 其作用是把试样在电子束的轰击下产生的特征X射 线按波长不同分开，并测定和记录各种特征X射线 的波长和强度。根据特征X射线的波长和强度即可 对试样的元素组成进行分析。 17
17 材料现代测试方法 电子探针显微分析 2 X射线波长分散谱仪 v 波谱仪的基本概念 WDS：用来测定特定波长的谱仪 n X射线波长分散谱仪实际上是X射线分光光度计。 其作用是把试样在电子束的轰击下产生的特征X射 线按波长不同分开，并测定和记录各种特征X射线 的波长和强度。根据特征X射线的波长和强度即可 对试样的元素组成进行分析
材料现代测试方法 电子探针显微分析 V波谱仪的结构 nX射线波长 电于枪 显象管 色式记录仪 打印机 分散谱仪主要 定标器 由分光晶体、 案光镜区☒ X射线探测器、 A 发生器 计时器 冲高度 分析器 X射线计数器 扫描线醒闷 分光晶付 主放大器 物镜 和记录系统等 测蘭置散大器 部分组成。 7☑试样 图2-90电子探针仪组成示意图 A一电子光学系统：B一扫描显示系统，C一波谱仪（波谱仪由X射线分光及探测系统C、 X射线计数及记录系统C?组城) 18
18 材料现代测试方法 电子探针显微分析 v 波谱仪的结构 n X射 线 波 长 分散谱仪主要 由分光晶体、 X射线探测器、 X射 线 计 数 器 和记录系统等 部分组成
Eleuron beam WD:11mm 5 19
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材料现代测试方法 电子探针显微分析 V分光探测系统的基本结构和分光原理 n波谱仪的分光探测系统由分光晶 聚焦电子束 体、X射线探测器和相应的机械传 分光晶体 动装置组成。 0 n由聚焦电子束激发产生的特征X 射线照射到分光晶体上，波长符合 试样 布拉格方程的X射线将产生衍射进 探测器 入探测器而被接收。转动分光晶体， 改变0角，可以将不同波长的特征 X射线分开，同时改变探测器的位 置和方向，就可把不同波长的X射 线探测并记录下来。 试样 20
20 材料现代测试方法 电子探针显微分析 v 分光探测系统的基本结构和分光原理 θ1 θ1 分光晶体 试样 探测器 聚焦电子束 θ2 试样 θ2 n 波谱仪的分光探测系统由分光晶 体、X射线探测器和相应的机械传 动装置组成。 n 由聚焦电子束激发产生的特征X 射线照射到分光晶体上，波长符合 布拉格方程的X射线将产生衍射进 入探测器而被接收。转动分光晶体， 改变θ角，可以将不同波长的特征 X射线分开，同时改变探测器的位 置和方向，就可把不同波长的X射 线探测并记录下来