电子探针 SEM成分分析器
1 电子探针 ——SEM成分分析器
电子探针(Electron Probe Microanalysis-EPMA)的 主要功能是进行微区成分分析。它是在电子光学和X射 线光谱学原理的基础上发展起来的一种高效率分析仪器。 ·其原理是：用细聚焦电子束入射样品表面，激发出样品 元素的特征X射线，分析特征X射线的波长（或能量）可 知元素种类；分析特征X射线的强度可知元素的含量。 ·其烧筒都分构遣和SEM相同，检测部分使用X射线缮仪， 用耒检测X射线的特红彼长（彼缮仪)和特红能量（能 缮仪)，以此对微区进行化学成分分析
• 电子探针（Electron Probe Microanalysis-EPMA）的 主要功能是进行微区成分分析。它是在电子光学和X射 线光谱学原理的基础上发展起来的一种高效率分析仪器。 • 其原理是：用细聚焦电子束入射样品表面，激发出样品 元素的特征X射线，分析特征X射线的波长（或能量）可 知元素种类；分析特征X射线的强度可知元素的含量。 • 其镜筒部分构造和SEM相同，检测部分使用X射线谱仪， 用来检测X射线的特征波长（波谱仪）和特征能量（能 谱仪），以此对微区进行化学成分分析
JXA-8530F电子探针外观图 IXA-8530F SUPERPROBF 器 黑T7 外观紧凑、整洁
JXA-8530F电子探针外观图 外观紧凑、整洁
JXA-8530F电子探针外观图 HYPERPROBE
JXA-8530F电子探针外观图
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