EPMA的主要应 用 4、生物学、医学及法学中的应用 此情况下通常元素含量很低，而且需要精确定量，必须由电子探针完成。 •关节修复移植材料在周围组织中的扩散情况 •结石成分分析 •头发等中的微量元素分析（对于职业病鉴定，中毒分析等非常重要，通常 含量很低，而且需要精确定量，必须由电子探针完成) •枪弹残余物颗粒成分分析（有专业的枪击残留物软件，对于重大案件以及 需要精确证据的案件分析，必须由电子探针完成) •死因不明尸骨中铅的亮粒（通过电子探针精确定量分析，可以鉴别出铅的 亮粒为子弹残留物，死因为中枪，并可以比对出为那种子弹，这类工作只有 电子探针可以精确完成) •被盗被烧珍贵文物，可以通过电子探针鉴定文物表面结构以及元素含量。 ·文件真伪鉴别（通过比对墨迹元素含量可以精确比对鉴别，要求精确定量 才可以进行鉴别比对)。纸，纸上颜料，油墨，墨水的成分分析，元素分布 图可划出其中不同的区域，与伪造文件比照
11 EPMA的主要应用 4、生物学、医学及法学中的应用 此情况下通常元素含量很低，而且需要精确定量，必须由电子探针完成。 •关节修复移植材料在周围组织中的扩散情况 •结石成分分析 •头发等中的微量元素分析（对于职业病鉴定，中毒分析等非常重要，通常 含量很低，而且需要精确定量，必须由电子探针完成） •枪弹残余物颗粒成分分析（有专业的枪击残留物软件，对于重大案件以及 需要精确证据的案件分析，必须由电子探针完成） •死因不明尸骨中铅的亮粒（通过电子探针精确定量分析，可以鉴别出铅的 亮粒为子弹残留物，死因为中枪，并可以比对出为那种子弹，这类工作只有 电子探针可以精确完成） •被盗被烧珍贵文物，可以通过电子探针鉴定文物表面结构以及元素含量。 •文件真伪鉴别（通过比对墨迹元素含量可以精确比对鉴别，要求精确定量 才可以进行鉴别比对）。纸，纸上颜料，油墨，墨水的成分分析，元素分布 图可划出其中不同的区域，与伪造文件比照
材料现代测试方法 电子探针显微分析 主要内容 1、电子探针的结构与工作原理 2、X射线波长分散谱仪（波谱仪WDS) 3、X射线能量分散谱仪（能谱仪EDS) 4、波谱仪与能谱仪的比较 5、电子探针的基本功能 6、电子探针对试样的要求 12
12 主要内容 1、 电子探针的结构与工作原理 2、 X射线波长分散谱仪（波谱仪WDS） 3、 X射线能量分散谱仪（能谱仪EDS） 4、 波谱仪与能谱仪的比较 5、电子探针的基本功能 6、 电子探针对试样的要求 材料现代测试方法 电子探针显微分析
材料现代测试方法 电子探针显微分析 1电子探针的结构与工作原理 V电子探针的基本概念 n电子探针就是利用聚焦电子束与试样作用时产生 的特征X射线对试样微区的化学成分进行定性和定 量分析。 n由于作用在试样上的电子束很细，形状如针，故 称之为电子探针。由于电子束很细，其作用范围很 小。因此，利用电子探针可以对试样的微小区域进 行化学成分的定性分析和定量分析。 13
13 材料现代测试方法 电子探针显微分析 1 电子探针的结构与工作原理 v 电子探针的基本概念 n 电子探针就是利用聚焦电子束与试样作用时产生 的特征X射线对试样微区的化学成分进行定性和定 量分析。 n 由于作用在试样上的电子束很细，形状如针，故 称之为电子探针。由于电子束很细，其作用范围很 小。因此，利用电子探针可以对试样的微小区域进 行化学成分的定性分析和定量分析
材料现代测试方法 电子探针显微分析 V电子探针的基本原理 n用聚焦电子束轰击试样表面的待测微区，使该区 原子的内层电子发生跃迁，释放出特征X射线。 n用波谱仪或能谱仪对这些特征X射线进行展谱分 析，得到反映特征X射线波长（或能量)与强度关 系的X射线谱。根据特征X射线的波长（或能量）进 行元素的定性分析。根据特征X射线的强度进行元 素的定量分析。 14
14 材料现代测试方法 电子探针显微分析 v 电子探针的基本原理 n 用聚焦电子束轰击试样表面的待测微区，使该区 原子的内层电子发生跃迁，释放出特征X射线。 n 用波谱仪或能谱仪对这些特征X射线进行展谱分 析，得到反映特征X射线波长（或能量）与强度关 系的X射线谱。根据特征X射线的波长（或能量）进 行元素的定性分析。根据特征X射线的强度进行元 素的定量分析
材料现代测试方法 电子探针显微分析 V电子探针的结构 高压电缆 n电子探针的结构 电子枪 与扫描电镜的结构 非常相似。除了信 能谱仪 号检测处理系统不 光镜 同外，其余部分如 电子光学系统、扫 物镜光阑 描系统、图像显示 MMWMWMo 波谱仪 记录系统和真空系 统、电源系统等几 乎完全相同。 15
15 材料现代测试方法 电子探针显微分析 v 电子探针的结构 n 电子探针的结构 与扫描电镜的结构 非常相似。除了信 号检测处理系统不 同外，其余部分如 电子光学系统、扫 描系统、图像显示 记录系统和真空系 统、电源系统等几 乎完全相同。 高压电缆 光镜 物镜光阑 能谱仪 波谱仪 电子枪