变气隙厚度型输出特性 线 N2 L= N2μoSo 铁芝 26 N24S0.1 2 >气隙厚度变化时，L与δ为反比关系 L=f(δ) 优点：灵敏度高； 缺点：输出特性为非线性
2 2 0 0 2 0 0 2 1 2 m N N S L R N S µ δ µ δ = = = ⋅ L = f (δ ) ¾ 气隙厚度变化时， 气隙厚度变化时，L与δ为反比关系 变气隙厚度型输出特性 优点：灵敏度高； 缺点：输出特性为非线性
变气隙厚度型输出特性 灵敏度： >电感初始气隙6，处，初始电感量为 Lo+AL3 N24S0 6。-46 26。 dL N24S。-L0 特性曲线非线性 do 262 运动部件 自感传感器的灵敏度
2 0 0 0 0 2 N S L µ δ = δ0 L δ L0 L0+ΔL L0-ΔL ¾电感初始气隙δ0 处，初始电感量为 处，初始电感 特性曲线非线性 δ0 –Δδ 变气隙厚度型输出特性 自感传感器的灵敏度 2 00 0 2 0 = 2 L dL NS L K d µ δδδ = = 灵敏度：
变气隙式输出特性 线性度： >电感初始气隙6，处，初始电感量为 Lo+AL 6-48 N2HoSo 2δ0 >衔铁位移△6引起的电感变化为 特性曲线非线性 L=L±AL= N24S=N4S,128=1, 运动部件 2(6干△6) ,△ 1 46/6<1时，可将前式用泰勒级数展开 A
¾ 衔铁位移Δδ引起的电感变化为 引起的电感变化为 2 2 00 00 0 0 0 0 0 0 / 2 1 2( ) 1 1 NS NS LL L L µ µδ δ δ δ δ δ δ = ±∆ = = = ⋅ ∓∆ ∆ ∆ ∓ ∓ 2 0 0 0 0 2 N S L µ δ = δ0 L δ L0 L0+ΔL L0-ΔL ¾电感初始气隙δ0 处，初始电感量为 处，初始电感 特性曲线非线性 δ0 –Δδ 变气隙式输出特性 Δδ/δ<< 1 时，可将前式用泰勒级数展开 线性度：
变气隙式输出特性 衔铁下移时电感的相对增量增大 L=+N(+(y.J +( 两边同除以虹 L △ 1+ L d ©衔铁上移时电感的相对增量减小 L=L,-AL=L,-40+(-(9) 两边同除虹。 △L L4
2 3 0 0 00 0 LL LL [1 ( ) ( ) ] δ δ δ δδ δ ∆ ∆ ∆ = − ∆ = − + − ⋅⋅⋅ 2 23 00 0 0 0 0 0 [1 ( ) ] ( ) ( ) LL δ δδ δδ δ δ δδ δδ δ ∆ ∆ ∆∆ ∆∆ ∆ = − + −⋅⋅⋅ = − + −⋅⋅⋅ ) 衔铁下移时电感的相对增量增大 ) 衔铁上移时电感的相对增量减小 2 23 00 0 0 0 0 0 [1 ( ) ] ( ) ( ) LL δ δδ δδ δ δ δδ δδ δ ∆ ∆ ∆∆ ∆∆ ∆ = + + +⋅⋅⋅ = + + +⋅⋅⋅ 2 3 0 0 00 0 LL LL [1 ( ) ( ) ] δ δ δ δδ δ ∆ ∆ ∆ = + ∆ = + + + ⋅⋅⋅ 两边同除以L0 两边同除以L0 变气隙式输出特性
变气隙式输出特性 △6，△6 △δ K △8 +]= 6 奥讨论： >传感器测量范围46与灵敏度和线性度相矛盾； >变间隙式电感传感器用于小位移比较精确，一般取 46/6。=0.10.2,(6约为0.10.5mm); >为减小非线性误差实际测量中多采用差动形式。 优点：灵敏度高； 缺点：非线性严重，装配困难，常用于小位移测量
0 2 3 0 00 0 [1 ( ) ( ) ] L L L K δ δ δ δδ δ δ δ ∆ ∆∆ ∆ = ± + ± + ⋅⋅⋅ = ∆ 变气隙式输出特性 ♣ 讨论： ¾ 传感器测量范围Δδ与灵敏度K和线性度相矛盾； ¾ 变间隙式电感传感器用于小位移比较精确，一般取 Δδ/δ0 = 0.1～0.2 ，（δ0约为0.1~0.5mm）； ¾ 为减小非线性误差实际测量中多采用差动形式。 优点：灵敏度高； 缺点：非线性严重，装配困难，常用于小位移测量