光栅式传感器 光栅是由许多具有等间距刻线分布的透光缝隙和 不透光的刻线均匀相间排列构成的光学元件。 光栅式传感器有如下特点： 1.精度高。 2.大量程测量兼有高分辨力。 3.可实现动态测量。 4.具有较强的抗干扰能力
光 栅式传 感 器 光栅是由许多具有等间距刻线分布的透光缝隙和 不透光的刻线均匀相间排列构成的光学元件。 光栅式传感器有如下特点： 1.精度高。 2.大量程测量兼有高分辨力。 3.可实现动态测量。 4.具有较强的抗干扰能力
光栅式传感器 按其原理和用途，它可分为物理光栅和计量光栅。 1)物理光栅利用光的衍射现象，主要用于光谱分析 和光波长等量的测量。 2)计量光栅主要利用莫尔现象，测量位移、速度、 加速度、振动等物理量
按其原理和用途，它可分为物理光栅和计量光栅。 1）物理光栅利用光的衍射现象，主要用于光谱分析 和光波长等量的测量。 2）计量光栅主要利用莫尔现象，测量位移、速度、 加速度、振动等物理量。 光 栅式传 感 器
1.光栅结构 在镀膜玻璃上均匀刻制许多 有明暗相间、等间距分布的 细小条纹（又称为刻线）， 这就是光栅，右图为透射光 栅的示意图。图中a为栅线的 宽度（不透光），b为栅线间 宽（透光），a+b=W称为光 栅的栅距（也称光栅常数)。 通常a=b=WMW2,也可刻成 a:b=1.1:0.9。目前常用的 光栅每毫米刻成10、25、50、 透射光栅示意图 100、250条线条
在镀膜玻璃上均匀刻制许多 有明暗相间、等间距分布的 细小条纹（又称为刻线）， 这就是光栅，右图为透射光 栅的示意图。图中 a为栅线的 宽度（不透光）， b为栅线间 宽（透光）， a+b=W称为光 栅的栅距（也称光栅常数）。 通常a=b = W/2，也可刻成 a∶b=1.1∶0.9。目前常用的 光栅每毫米刻成10 、25 、50 、 100 、250条线条。 1. 光栅结构 a b W 透射光栅示意图
2.光栅测量原理 把两块栅距相等的光栅（光栅1、光栅2）面 向对叠合在一起，中间留有很小的间隙，并 使两者的栅线之间形成一个很小的夹角0， 这样就可以看到在近于垂直栅线方向上出现 明暗相间的条纹，这些条纹叫莫尔条纹
把两块栅距相等的光栅（光栅 1、光栅 2）面 向对叠合在一起，中间留有很小的间隙，并 使两者的栅线之间形成一个很小的夹角 θ ， 这样就可以看到在近于垂直栅线方向上出现 明暗相间的条纹，这些条纹叫莫尔条纹。 2. 光栅测量原理
2.光栅测量原理 可在d-d线上，两块光栅 光栅1 的栅线重合，透光面积最 大，形成条纹的亮带， 它是由一系列四棱形图案 构成的；在f-线上，两 块光栅的栅线错开，形成 条纹的暗带，它是由一些 光栅2 黑色叉线图案组成的。因 此莫尔条纹的形成是由两 块光栅的遮光和透光效应 光栅莫尔条纹的形式 形成的
可在d - d线上，两块光栅 的栅线重合，透光面积最 大， 形成条纹的亮带， 它是由一系列四棱形图案 构成的；在f - f线上，两 块光栅的栅线错开，形成 条纹的暗带，它是由一些 黑色叉线图案组成的。因 此莫尔条纹的形成是由两 块光栅的遮光和透光效应 形成的。 2. 光栅测量原理 d f d f d 光栅2 光栅1 d f d f d θ W BH 光栅莫尔条纹的形式