電子王掌出版社 金属薄膜应变片 采用真空蒸发或真空沉积等方法在薄的绝缘 基片上形成厚度在01pm以下的金属电阻材 料薄膜敏感栅,再加上保护层,易实现工业 化批量生产 c优点:应变灵敏系数大,允许电流密度大, 工作范围广,易实现工业化生产 问题:难控制电阻与温度和时间的变化关系
金属薄膜应变片 ⚫ 采用真空蒸发或真空沉积等方法在薄的绝缘 基片上形成厚度在0.1μm以下的金属电阻材 料薄膜敏感栅，再加上保护层，易实现工业 化批量生产 ⚫ 优点：应变灵敏系数大，允许电流密度大， 工作范围广，易实现工业化生产 ⚫ 问题：难控制电阻与温度和时间的变化关系 返 回 上一页 下一页
電子工掌出版社 2L2金属应变片的主要特性 (一)灵敏系数 二)横向效应 (三)温度误差及其补 偿
2.1.2 金属应变片的主要特性 （一）灵敏系数 （二）横向效应 （三）温度误差及其补 偿 返 回 上一页 下一页
電子工掌出版社 应变片的电阻值R 应变片在未经安装也不受外力情况 下,于室温下测得的电阻值 电阻系列:60、120、200、350、500、 10009 可以加大应变片承受电压, 电阻值大出信号大 敏感栅尺寸也增大
应变片的电阻值 R ⚫ 应变片在未经安装也不受外力情况 下，于室温下测得的电阻值 ⚫ 电阻系列：60、120、200、350、500、 1000Ω 可以加大应变片承受电压， 电阻值大 输出信号大， 敏感栅尺寸也增大 返 回 上一页 下一页
電子工掌出版社 )灵敏系数 △R/R k 标称灵敏系数”:受轴向单向力(拉或压),试件材料 为泊松系数μ=0.285的钢等。一批产品中只能抽样5%的 产品来测定,取平均值及允许公差值。 电阻应变片的灵敏系数k<电阻丝的灵敏系数k 粘结层传递变形失真 原因: 还存在有横向效应
（一）灵敏系数 R R k / = “标称灵敏系数”：受轴向单向力（拉或压），试件材料 为泊松系数μ=0.285的钢等。一批产品中只能抽样5％的 产品来测定，取平均值及允许公差值。 电阻应变片的灵敏系数k < 电阻丝的灵敏系数k0 粘结层传递变形失真 还存在有横向效应 原因： 返 回 上一页 下一页
電子工業出社 PUBLISHING HOUSE OF ELECTRONICS STRY (二)横向效应 敏感栅是由多条直线和圆弧部分组成 直线段:沿轴向拉应变c,电阻會 圆弧段:沿轴向压应度,电阻 KL(箔式应变片 EX 十
（二）横向效应 敏感栅是由多条直线和圆弧部分组成 直线段：沿轴向拉应变εx，电阻 圆弧段：沿轴向压应度εy 电阻 K (箔式应变片) 返 回 上一页 下一页 εy εx εy