第四章 传感器集成技术基础
第四章 传感器集成技术基础
智能传感器的集成实现 将整个传感器系统集成在一块硅片上。 初级形式： 敏感元件+电路调理，无微处理器。 中级形式： 敏感元件+电路调理+微处理器。 高级形式： 高集成度，多维阵列化，具有信息融合功能，有些具有成 像和图像处理等功能
智能传感器的集成实现 将整个传感器系统集成在一块硅片上。 初级形式： 敏感元件+电路调理，无微处理器。 中级形式： 敏感元件+电路调理+微处理器。 高级形式： 高集成度，多维阵列化，具有信息融合功能，有些具有成 像和图像处理等功能
集成电路技术的发展 工艺特征尺寸 0.3 0.2 0.2 0.15 +工艺尺寸 0.1 0.05 0 1997 1999 20012003 2006 2009
集成电路技术的发展
集成电路技术的发展 单个芯片上的晶体管数 600 500 e 400 ·晶体管数 20 100 0 1997 1999 2001 2003 2006 2009
集成电路技术的发展
集成电路技术的发展 芯片面积 700 600 ·芯片面积 0 1997 1999 20012003 2006 2009
集成电路技术的发展