静态二次离子质谱( DSIMS) 静态二次离子质谱利用能量在1~0keV范围 的带电或不带电的离子束轰击样品,由于入射 离子束与样品的相互作用,这样就有被离化的 样品碎片溅射。 这些被溅射的碎片称为二次离子,它们是静 态二次离子质谱的分析信号
静态二次离子质谱(DSIMS) 静态二次离子质谱利用能量在 1 ～l0keV范围 的带电或不带电的离子束轰击样品，由于入射 离子束与样品的相互作用，这样就有被离化的 样品碎片溅射。 这些被溅射的碎片称为二次离子，它们是静 态二次离子质谱的分析信号
质谱仪根据荷质比不同将二次离子分类,因 此可以提供包含样品表面各种官能团或化合物 的碎片离子的质谱。 静态二次离子质谱可以对样品最外几层进行 化学分析,能获取表面化学信息是静态二次离 子质谱和动态二次离子质谱的区别
质谱仪根据荷质比不同将二次离子分类，因 此可以提供包含样品表面各种官能团或化合物 的碎片离子的质谱。 静态二次离子质谱可以对样 品最外几层进行 化学分析，能获取表面化学信息是静态二次离 子质谱和动态二次离子质谱的区别
动态二次离子质谱 DSIMS) 在二次离子质谱分析中,固态样品置于真 空中并用细离子束轰击,此入射离子被称作 初级离子,它们有足够的能量使样品照射区 的原子或小原子团逸出。 以离子形式发射的原子或原子团被称为二 次离子
动态二次离子质谱(DSIMS) 在二次离子质谱分析中，固态样品置于真 空中并用细离子束轰击，此入射离子被称作 初级离子，它们有足够的能量使样品照射区 的原子或小原子团逸出。 以离子形式发射的原子或原子团被称为二 次离子
二次离子在质谱仪中加速后,根据它们的荷 质比不同被分离并分别计数。 二次离子的相对量可以转换成浓度,通过与 标样比较可以展示样品成分和痕量杂质浓度随 轰击时间(表示距样品表面深度)变化情况。 动态二次离子质谱能迅速得到样品的成分分 布并破坏样品的化学完整性
二次离子在质谱仪中加速后，根据它们的荷 质比不同被分离并分别计数。 二次离子的相对量可以转换成浓度，通过与 标样比较可以展示样品成分和痕量杂质浓度随 轰击时间 (表示距样品表面深度 )变化情况。 动态二次离子质谱能迅速得到样品的成分分 布并破坏样品的化学完整性
低能电子衍射(LEED) 在真空环境中,一束平行单色电子束被样品 表面衍射。 电子束的能量范围在10100eV,在这个 能量范围里,电子平均自由程只有几个埃,因 此对表面十分敏感
低能电子衍射(LEED) 在真空环境中，一束平行单色电子束被样品 表面衍射。 电子束的能量范围在10—1000eV，在这个 能量范围里，电子平均自由程只有几个埃，因 此对表面十分敏感