广西机电工程学校：《传感器原理与技术》课程教学资源（课件讲稿）项目五 位移检测、速度和加速度检测 16.1 光栅位置传感器的工作原理与应用

主光橱 光敏元件 光源 驱动电路 聚光透镜 指示光栅 图5-3-4光栅位置传感器的结构

图5-3-4 光栅位置传感器的结构

主光栅 光敏元件 光源 驱动电路 聚光透镜 指示光椰 图5-3-4光栅位置传感器的结构

图5-3-4 光栅位置传感器的结构

主光橱 光敏元件 光源 11 驱动电路 聚光透镜 指示光栅 图5-3-4光栅位置传感器的结构

图5-3-4 光栅位置传感器的结构