广西机电工程学校：《传感器原理与技术》课程教学资源（课件讲稿）项目五 位移检测、速度和加速度检测 16.1 光栅位置传感器的工作原理与应用

结构原理简单 测量精度高 测量元件

测量元件 结构原理简单 测量精度高

数控机床 精密定位 长度 速度 加速度 振动测量

数控机床 精密定位 长度 速度 加速度 振动测量

光栅位置传感器的工作原理

光栅位置传感器的工作原理

主光栅 光敏元件 光源 驱动电路 聚光透镜 指示光栅 图5-3-4光栅位置传感器的结构

图5-3-4 光栅位置传感器的结构

主光栅 光敏元件 光源 : 驱动电路 聚光透镜 指示光椰 图5-3-4光栅位置传感器的结构

图5-3-4 光栅位置传感器的结构