二、电子与固体作用产生的信号 01.电子与固体作用产生的信号 02.电子非弹性散射平均自由程和信 息深度 03.电子能谱
11 二、电子与固体作用产生的信号 Ø1.电子与固体作用产生的信号 Ø2.电子非弹性散射平均自由程和信 息深度 Ø3.电子能谱
1.电子与固体作用产生的信号 表面元素发射的总强度 背散射电子流 X射线： ’二次电子流 样品吸收电流 透射电子流 图33入射电子束与固体作用产生的发射现象
12 1. 电子与固体作用产生的信号 图3-3 入射电子束与固体作用产生的发射现象 背散射电子流 二次电子流 X射线 表面元素发射的总强度 透射电子流 样品吸收电流
1.电子与固体作用产生的信号 复 入射电子束 I-wu 001 d 俄歇电子 二次电子 背反射电子 特征X射线 连续X射线 由连续和特征X射 线激发的二次荧光 背反射电子的 空间分辨率 X射线的分辨率 “滴状”或“梨形”体积作用 3
13 1. 电子与固体作用产生的信号 “滴状”或“梨形”体积作用