一、散射 在固体原子的库仑电场作用下，入射电子方向将发生 改变，这种现象称为（电子)散射。有弹性散射和 非弹性散射之分。 图3-1电子散射示意图 (a)与原子核作用； 28 (b)与核外电子作用
6 一、散射 l 在固体原子的库仑电场作用下，入射电子方向将发生 改变，这种现象称为（电子）散射。 有弹性散射和 非弹性散射之分。 图3-1 电子散射示意图 （a）与原子核作用； （b）与核外电子作用
1.原子核对入射电子的散射 散射损失的能量 DE-2. A 散射角(2口)即散射电子运动方向与入射方向之间的夹 角。 I以100keV的电子为例： Q小角度散射(2口<5)，电子的能量损失在10-3~10leV 的范围； Q背散射电子(2口≈π/2)，能量损失达到几个eV 因此，原子核对电子的散射一般情况 下均可视为弹性散射
7 1. 原子核对入射电子的散射 散射损失的能量 散射角（2 ）即散射电子运动方向与入射方向之间的夹 角。 l 以100keV的电子为例： Q小角度散射(2 <5º)，电子的能量损失在10-3～10-l eV 的范围； Q背散射电子(2 ≈π/2)，能量损失达到几个eV l 因此，原子核对电子的散射一般情况 下均可视为弹性散射
2.核外电子对入射电子的散射 【原子中核外电子对入射电子的散射作用是 一种非弹性散射。 在非弹性散射过程中，入射电子所损失的 能量部分转变为热，部分使物质产生各 种激发现象（如，原子电离、自由载流子、 二次电子、俄歇电子、特征x射线、特征能 量损失电子、阴极发光、电子感生电导等) 这些激发现象称为电子激发
8 2. 核外电子对入射电子的散射 l 原子中核外电子对入射电子的散射作用是 一种非弹性散射。 l 在非弹性散射过程中，入射电子所损失的 能量部分转变为热，部分使物质产生各 种激发现象（如，原子电离、自由载流子、 二次电子、俄歇电子、特征X射线、特征能 量损失电子、阴极发光、电子感生电导等） 。这些激发现象称为电子激发
3.散射截面 入射电子被原子核散射时，散射角2口的大小与瞄准距 离r.、原子核电荷Ze以及入射电子的加速电压V有关， 其关系为 Ze 或 Ze 29 Vr V(2g) 口r2叫做弹性散射载面，用☐表示。 当入射电子与核外电子作用时，散射角2口为 e 2g= 或 e V(2q) 口r2为核外电子的非弹性散射栽面，用口表示
9 3. 散射截面 l 入射电子被原子核散射时，散射角2 的大小与瞄准距 离rn、原子核电荷Ze以及入射电子的加速电压V有关， 其关系为 rn 2叫做弹性散射截面，用 n表示。 l 当入射电子与核外电子作用时，散射角2 为 re 2为核外电子的非弹性散射截面，用 e表示
4.电子吸收 [指由于电子能量衰减而引起的强度（电子数 衰减。电子被吸收时所达到的深度称为最大穿 入深度(R) 0.06 0.05 I kev 0.04 5keV 0.03 8 kev 0,02 0.01 100 200300400500600700800 /nm 入射电子在固体中传播时的能量损失曲线 (E,=1keV、3keV、5keV和8keV)
10 4. 电子吸收 l 指由于电子能量衰减而引起的强度（电子数） 衰减。电子被吸收时所达到的深度称为最大穿 入深度（R）。 入射电子在固体中传播时的能量损失曲线 （E0 =1keV、3keV、5keV和8keV）