电子显微分析方法的种类 透射电子显微镜(TE① Transmission electron microscopy 扫描电子显微镜(SEM) Scanning electron microscope 电子探针X射线显微分析仪(EPA或 EPMA) 电子激发俄歇电子能谱(XAES或AES)
6 电子显微分析方法的种类 透射电子显微镜(TEM) Transmission electron microscopy 扫描电子显微镜(SEM) Scanning electron microscope 电子探针X射线显微分析仪 (EPA或 EPMA) 电子激发俄歇电子能谱(XAES或AES)
透射电子显微镜(TEM①的形式 高分辨电镜(HRTEM) 透射扫描电镜(STEM) 分析型电镜（AEM)等等。 入射电子束（照明束）也有两种主要形式： 平行束：透射电镜成像及衍射 会聚束：扫描透射电镜成像、微分析及微 衍射
7 高分辨电镜（HRTEM） 透射扫描电镜（STEM） 分析型电镜（AEM）等等。 ◼ 入射电子束（照明束）也有两种主要形式： 平行束：透射电镜成像及衍射 会聚束：扫描透射电镜成像、微分析及微 衍射。 透射电子显微镜(TEM) 的形式
Basic features of A Modern TEM 电子枪 试样架 EDS探测器 镜简 扫描像观察装置 观察室 操作面板 照相室 扫描像照相机 EELS探测器 8
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剖面示意图 一高压电线 2一电子枪 赋明系线 2一园极 ☒区 一束流偏转线囿 ☒ 5元统>翼光镜 浅 学材料科学 夕县电篮缩转线圈 9一物流光侧 10一尚镜消像收战面图 ☒☒ 与 11一物镜 成像系镜 12一选区光阑 13一第一中间镜 14一第二中间镜 1仔一第三中问镜 16一高分辨行射室 17一光学品微德 18一观家窗 19-荧光屏 现据与记 录系 20一发片盒 21一收片盒 22一解相室 22
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电子枪室 15t/s SIP 电子枪 加速管 加速管 中间室 20v/s SIP 阀门1 40 测角仪 物镜光阑 样品室 样品台→ 50U3 SIP 物镜 选区光阑→口 ■ 中间镜 投影镜 阀门2 双目光学显微镜→ 0 观察室 观察窗口 小荧光屏 大荧光屏 照相室 照相室 420/ DP (a) (b) 图9.4JEM-2010型透射电子显微镜镜筒结构剖面图(a)与真空系统配置图(b) 10
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