5.1.2SEM构造 2.信号检测放大系统 其作用是检测样品在入射 电子作用下产生的物理信 阳极 光阴极 二次电子入射电子束 号，然后经视频放大，作 为显像系统的调制信号。 烁体 铝膜 不同的物理信号，要用不 背散射电子 同类型的检测系统。 800≈1000V 1000 法拉第罩 它大致可分为三类，即电 子检测器，阴极荧光检测 电子检测器 器（主要用于生物)和X射 线检测器(EDS,WDS)
5.1.2 SEM构造 2．信号检测放大系统 其作用是检测样品在入射 电子作用下产生的物理信 号，然后经视频放大，作 为显像系统的调制信号。 不同的物理信号，要用不 同类型的检测系统。 它大致可分为三类，即电 子检测器，阴极荧光检测 器（主要用于生物）和X射 线检测器（EDS，WDS）。 电子检测 器
电子检测器工作原理 在扫描电子显微镜中最普遍使用的电子检测器是由闪烁体， 光导管和光电倍增器所组成，如图5-3所示。闪烁体多由 含磷光物质的闪烁塑料制成。由于闪烁体只对能量为数千 电子伏特的电子敏感，为了能探测能量小于50eV的二次 电子，必须在闪烁体上加上约10kV的正高压来加速电子。 因塑料闪烁不导电，故在其上面喷镀几十纳米厚的铝膜作 为高压电极，又可作为反光层阻挡杂散光的干扰。闪烁体 上的正高压会使入射束位移或引起像散，为此其外套着 个有栅网的法拉第罩，其电位接近零电压.在法拉第罩栅 网上接+200V左右的正偏压（相对样品）可以进一步有效 地吸收二次电子。若要排斥二次电子，则在法拉第罩上加 50V负偏压。法拉第罩栅网上施加这样低的正负偏压不会 给入射电子束带来明显的不利影响
电子检测 器工作原理 在扫描电子显微镜中最普遍使用的电子检测器是由闪烁体， 光导管和光电倍增器所组成，如图5-3所示。闪烁体多由 含磷光物质的闪烁塑料制成。由于闪烁体只对能量为数千 电子伏特的电子敏感，为了能探测能量小于50eV的二次 电子，必须在闪烁体上加上约10kV的正高压来加速电子。 因塑料闪烁不导电，故在其上面喷镀几十纳米厚的铝膜作 为高压电极，又可作为反光层阻挡杂散光的干扰。闪烁体 上的正高压会使入射束位移或引起像散，为此其外套着一 个有栅网的法拉第罩，其电位接近零电压．在法拉第罩栅 网上接+200V左右的正偏压（相对样品）可以进一步有效 地吸收二次电子。若要排斥二次电子，则在法拉第罩上加 50V负偏压。法拉第罩栅网上施加这样低的正负偏压不会 给入射电子束带来明显的不利影响
电子检测器工作原理 当信号电子撞击并进入闪烁体时，将引起 电离，当离子与自由电子复合时产生可见 光，其沿无吸收的光导管送到光电倍增器 进行放大，输出电信号可达10mA左右，经 视频放大器放大后作为调制信号。这种检 测系统的特点是在很宽的信号范围内具有 正比于原始信号的输出，具有很宽的频带 (10Hz~1MHz)和高的增益(105~106)， 而且噪音很小
电子检测 器工作原理 当信号电子撞击并进入闪烁体时，将引起 电离，当离子与自由电子复合时产生可见 光，其沿无吸收的光导管送到光电倍增器 进行放大，输出电信号可达10mA左右，经 视频放大器放大后作为调制信号。这种检 测系统的特点是在很宽的信号范围内具有 正比于原始信号的输出，具有很宽的频带 （10Hz～1MHz）和高的增益（105~106）， 而且噪音很小
5.1.2SEM构造 3 显示与记录系统 该系统的作用是把信号检测系统输出的调制信号，转换 为在阴极射线管荧光屏上显示样品某种特征的放大像， 供观察和照相记录。 扫描电子显微镜的扫描速度可以变化，从数十秒的慢速 扫描变到快速的电视扫描，其间分成几档，供不同操作 目的使用。显示装置一般有两个显示通道：一个用来观 察，另一个供照相记录。前者采用长余辉显像管，便于 观察；后者则为高分辨率的短余辉管子。观察时为便于 调焦，采用相对快的扫描速度，而拍照时为了得到分辨 高的图像，要求采用尽可能慢的扫描速度
5.1.2 SEM构造 3 显示与记录系统 该系统的作用是把信号检测系统输出的调制信号，转换 为在阴极射线管荧光屏上显示样品某种特征的放大像， 供观察和照相记录。 扫描电子显微镜的扫描速度可以变化，从数十秒的慢速 扫描变到快速的电视扫描，其间分成几档，供不同操作 目的使用。显示装置一般有两个显示通道：一个用来观 察，另一个供照相记录。前者采用长余辉显像管，便于 观察；后者则为高分辨率的短余辉管子。观察时为便于 调焦，采用相对快的扫描速度，而拍照时为了得到分辨 高的图像，要求采用尽可能慢的扫描速度
5.2SEM的像衬度原理及其应用 5.2.1表面形貌衬度的原理 表面形貌衬度是利用对样 品表面形貌变化敏感的物王 背散射电子 0.5 信号作为调制信号得到的 0. 入射电子束 种像衬度。 0.3 样品表面 Fe 二次电子和背散射电子对 二次电子 样品微区刻面相对于入射： 子束的位向十分敏感，因山 40前80100 20 它们都能用于显示样品表画 形貌特征
5.2 SEM的像衬度原理及其应用 5.2.1表面形貌衬度的原理 表面形貌衬度是利用对样 品表面形貌变化敏感的物理 信号作为调制信号得到的一 种像衬度。 二次电子和背散射电子对 样品微区刻面相对于入射电 子束的位向十分敏感，因此 它们都能用于显示样品表面 形貌特征