绪论 50多年的实践证明，电子显微镜是20世纪最重大的发 明之一，Ruska教授由于他的先驱工作给科学所带来的巨 大贡献，获得了1986年的诺贝尔物理学奖。在Ruska获得 诺贝尔奖后的20年里，电子显微镜仪器和实验技术又得到 长足的发展。毫无疑问，随着电子显微镜的进一步完善和 各种电子显微术的发展，电子显微镜将对科学的发展产生 不可估量的作用
绪 论 50多年的实践证明，电子显微镜是20世纪最重大的发 明之一， Ruska教授由于他的先驱工作给科学所带来的巨 大贡献，获得了1986年的诺贝尔物理学奖。在Ruska获得 诺贝尔奖后的20年里，电子显微镜仪器和实验技术又得到 长足的发展。毫无疑问，随着电子显微镜的进一步完善和 各种电子显微术的发展，电子显微镜将对科学的发展产生 不可估量的作用
第一章透射电子显微镜的原理和构造 1.1入射电子在固体样品中所激发的信号及其 体积 1.1.1激发的信号 入射电子束 特征X射线 背散射电子 阴极荧光 二次电子 吸收电子或 束感生电效应 样品 样品电流 透射电子
第一章 透射电子显微镜的原理和构造 1.1 入射电子在固体样品中所激发的信号及其 体积 1.1.1激发的信号
1.1.1激发的信号 1.二次电子，小于50eV; 2.背散射电子，大于50eV; 3.吸收电子，不能逸出样品表面的电子； 4.特征X射线 (0.1keV-14keV) 入ka,一 h.c (Ek-EL2)
1.1.1激发的信号 1. 二次电子， 小于50eV； 2. 背散射电子 ，大于50eV； 3. 吸收电子，不能逸出样品表面的电子； 4. 特征X射线 (0.1keV-14keV) ( ) 2 2 k L k E E h c
1.1.1激发的信号 5.透射电子，弹性散射，等于或接近入射电子 能量 Incident electrons (electron gun,acceleration tube) Characteristic X-rays Back-scattered (EDS) electrons Secondary electrons Cathodeluminescence Auger electrons 海林 Specimen holder Specimen (column,holder Elastic,inelastic scattering (EELS) Transmitted electrons
1.1.1激发的信号 5. 透射电子,弹性散射，等于或接近入射电子 能量
1.1.2电子束激发体积 9401g 入射电子束 射电子束直径 样品表面 俄歌电子激发体积 二次电子激发体积 不背散射公 电子激发体积 初级X射线激发体积 E=Eo E=0 (a) (b)
1.1.2 电子束激发体积