XPS定性分析5Ti(CN)/ AI film0['n'e] siunos21cAnF522NAN5006004002000300100Binding Energy [eV]高纯AI基片上沉织的Ti(CN)体膜的XPS体图，激发源为Mg K。11
11 XPS定性分析 高纯Al基片上沉积的Ti(CN)x薄膜的XPS谱图，激发源为Mg K
A(O)AI1O175707570电子伏电子伏(a)(b)（a）刚磨蚀的新鲜样品：（）在环境的温度下在空气中暴露5关后显示出由于表面氧化而使AIII)/AI(0）比值增大
12
4.1.3、光电子能谱按激发能源分类（1）X射线光电子能谱以单色X射线为光源激发样品中原子内层（芯层)电子，产生光电子发射，称为X射线光电子。X射线光源能量范围为100eV~~10keV。「当原子相互靠近形成分子或晶体时，外层原子轨道交叠形成能带，而内层原子轨道很少交叠，甚至不发生交叠，故来自内层的X射线光电子能谱具有表征元素电子结合能的特征，宜于进行样品成分（元素组成分析。13
13 4.1.3．光电子能谱按激发能源分类 （1）X射线光电子能谱以单色X射线为光源， 激发样品中原子内层(芯层)电子，产生光电 子发射，称为X射线光电子。X射线光源能量 范围为100eV~~10keV。 l 当原子相互靠近形成分子或晶体时，外层原 子轨道交叠形成能带，而内层原子轨道很少 交叠，甚至不发生交叠，故来自内层的X射 线光电子能谱具有表征元素电子结合能的特 征，宜于进行样品成分(元素组成)分析
(2)紫外光电子能谱以紫外光为光源激发样品获得的光电子能谱，称为紫外光电子能谱。目前应用的真空紫外光源hv=10~100eV,能激发原子、分子的外层价电子和固体的价带电子，故紫外光电子能谱宜于研究分子轨道与结合键和有机化合物结构以及固体能带结构等。14
14 （2）紫外光电子能谱以紫外光为光源 激发样品获得的光电子能谱，称为紫 外光电子能谱。目前应用的真空紫外 光源hv＝10~100eV， 能激发原子、分子的外层价电子和 固体的价带电子，故紫外光电子能谱 宜于研究分子轨道与结合键和有机化 合物结构以及固体能带结构等
50AgMoAu力o42016BeaWBe→AgAg +toFCC8AWMoOFeBe5NieAg+MoAu1I1320501050010001500200300100E/ev图2-9固体中电子逸出深度口。与能量E的关系（示意图)15紫外光电子能谱特别适用于固体表面状态分析
15 图2-9 固体中电子逸出深度 e与能量E的关系(示意 图) 紫外光电子能谱特别适用于固体表面状态分析