第二章传感器及测量系统(3) 吉林大学机械电子工程学科 赵丁选
第二章 传感器及测量系统（3） 吉林大学 机械电子工程学科 赵丁选
29线位移传感器 291线位移传感器概述 用途:测量距离,高度、宽度等 ■种类:接触型与非接触型 常用类型:电阻式、电容式、电感式 光电式,霍尔效应式等。 ■重点介绍:半导体激光位移传感器、电 蜗流位移传感器,属非接触型位移传感 器
2.9线位移传感器 2.9.1线位移传感器概述 ◼ 用途：测量距离，高度、宽度等 ◼ 种类：接触型与非接触型。 ◼ 常用类型：电阻式、电容式、电感式、 光电式，霍尔效应式等。 ◼ 重点介绍：半导体激光位移传感器、电 蜗流位移传感器，属非接触型位移传感 器
292半导体激光位移传感器 动电 放大器 前霞器 半导体 改光露 发射 透镜 位置敏感 拴测器 接受器 紧固螺幅 位移 x昨离 不锈解壳体 50Q或59 阿轴缆接头 射频同轴电缆 目体 图2-9-1半导体激光位移传感器 图2-9-2电蜗流位移传感器
2.9.2半导体激光位移传感器 ◼ 图2-9-1半导体激光位移传感器 图2-9-2电蜗流位移传感器
292半导体激光位移传感器 结构:包括一个发光元件(发光二极管、激光器) 个位置敏感检测器 原理:采用三角测量。通过检测聚焦到位置敏感检测 器上的光柱点的运动即可确定工作物体的位移量 特点: 1)具有高分辨率,可对各种不同的材料进行精确测量 (2)测量范围宽,可对高温快速移动的物体进行测量。 (3)具有先进的激光安全性,不会对被测物体或人造成伤 (4)在任何安裝位置均可实现精确0V设定 (5)易于安装
2.9.2半导体激光位移传感器 ◼ 结构：包括一个发光元件（发光二极管、激光器）、 一个位置敏感检测器 ◼ 原理：采用三角测量。通过检测聚焦到位置敏感检测 器上的光柱点的运动即可确定工作物体的位移量。 ◼ 特点： (1)具有高分辨率，可对各种不同的材料进行精确测量。 (2)测量范围宽，可对高温快速移动的物体进行测量。 (3)具有先进的激光安全性，不会对被测物体或人造成伤 害。 (4)在任何安装位置均可实现精确0V设定。 (5)易于安装
293电蜗流位移传感器 基本结构:由探头(线圈、骨架、壳体 射频电缆和射频插头)、与前置器构成 测量原理: 前置放大器→高频信号激励→线圈 生高频磁场→金属表面会感应出 涡流→涡流损耗→线圈磁感应强度变 化→经前置器转换成电压信号∝距离 (线性关系)
2.9.3电蜗流位移传感器 ◼ 基本结构：由探头（线圈、骨架、壳体、 射频电缆和射频插头）、与前置器构成。 ◼ 测量原理： 前置放大器 → 高频信号激励 → 线圈 → 产生高频磁场 → 金属表面会感应出 涡流 → 涡流损耗 → 线圈磁感应强度变 化 → 经前置器转换成电压信号 ∝ 距离 （线性关系）