三.激光传感器特性及用途 1.激光测长 现代长度计量多是利用光波的干涉现象来进行的,其精度主要取决于光的 单色性的好坏。激光测长的量程大、精度高。 由光学原理可知单色光的最大可测长度L与波长λ和谱线宽度δ之间的关 系是:L=入216。 若用氢氖气体激光器,则最大可测几十公里。一般测量数米之内的长度, 其精度可达0.1微米。 ■黄入光 叠光茉的干涉条纹 ■参为光买 勿出5国
三. 激光传感器特性及用途 1. 激光测长 现代长度计量多是利用光波的干涉现象来进行的,其精度主要取决于光的 单色性的好坏。 激光测长的量程大、精度高。 由光学原理可知单色光的最大可测长度 L与波长λ和谱线宽度δ之间的关 系是:L=λ2/δ。 若用氦氖气体激光器,则最大可测几十公里。一般测量数米之内的长度, 其精度可达0.1微米
2.激光测距 它的原理与无线电雷达相同,将激光对准目标发射出去后,测量它的往返时 间,再乘以光速即得到往返距离。 由于激光具有高方向性、高单色性和高功率等优点,这些对于测远距离、判 定目标方位、提高接收系统的信噪比、保证测量精度等都是很关键的,因此 激光测距仪日益受到重视。 在激光测距仪基础上发展起来的激光雷达不仅能测距,而且还可以测目标方 位、运运速度和加速度等,已成功地用于人造卫星的测距和跟踪,例如采用 红宝石激光器的激光雷达,测距范围为500~2000公里,误差仅几米。 目前常采用红宝石激光器、钕玻璃激光器、二氧化碳激光器以及砷化镓激光 器作为激光测距仪的光源
2. 激光测距 它的原理与无线电雷达相同,将激光对准目标发射出去后,测量它的往返时 间,再乘以光速即得到往返距离。 由于激光具有高方向性、高单色性和高功率等优点,这些对于测远距离、判 定目标方位、提高接收系统的信噪比、保证测量精度等都是很关键的,因此 激光测距仪日益受到重视。 在激光测距仪基础上发展起来的激光雷达不仅能测距,而且还可以测目标方 位、运运速度和加速度等,已成功地用于人造卫星的测距和跟踪,例如采用 红宝石激光器的激光雷达,测距范围为500~2000公里,误差仅几米。 目前常采用红宝石激光器、钕玻璃激光器、二氧化碳激光器以及砷化镓激光 器作为激光测距仪的光源
3.激光测厚 利用三角测距原理,位于℃型架的上、下方分别有一个精密激光测距传 感器,由激光器发射出的调制激光打到被测物的表面,通过对线阵CCD 的信号进行采样处理,线阵CCD摄像机在控制电路的控制下同步得到被 测物到C型架之间的距离,通过传感器反馈的数据来计算中间被测物的 厚度。由于检测是连续进行的,因此就可以得到被测物的连续动态厚度 值。 R8232轴出 光器 计算机 核测篆上表面 无衍射光学系流 被测膜下表面 习寸发流过
3. 激光测厚 利用三角测距原理,位于C型架的上、下方分别有一个精密激光测距传 感器,由激光器发射出的调制激光打到被测物的表面,通过对线阵 CCD 的信号进行采样处理,线阵CCD摄像机在控制电路的控制下同步得到被 测物到C型架之间的距离,通过传感器反馈的数据来计算中间被测物的 厚度。由于检测是连续进行的,因此就可以得到被测物的连续动态厚度 值