第8章:真空技术 ◆81概述 ◆82真空的获得 8÷8.3真空的测量 A·8.4真空检漏技术
8.1 概述 8.2 真空的获得 8.3 真空的测量 8.4 真空检漏技术 第8章：真空技术
8.1概述 ◆真空概念 真空:一定空间内气体分子密度小于该地区大气 压下气体分子密度。并非指一定的空间内空无 物 ◆按真空度划分 105粗真空3×103中真空101高真空104超高真空107极高真空 ◆真空在低温中的应用 在气体液化、低温液体的贮运低温容器)以及减压 降温的控制中,都离不开真空技术
8.1 概述 真空概念 – 真空：一定空间内气体分子密度 小于 该地区大气 压下气体分子密度。并非指一定的空间内空无一 物 按真空度划分 105 粗真空 3×103 中真空 10-1 高真空 10-4 超高真空 10-7 极高真空 真空在低温中的应用 – 在气体液化、低温液体的贮运(低温容器)以及减压 降温的控制中，都离不开真空技术
西蒙氦液化系统 排放氦气 阀 氮气供给 至真空泵降 环境温度 低氢压力 至真空泵 液氮 真空层 N2 液氢空间 接受氮的厚壁容器 20.4K 杜瓦 图3.31西蒙液化系统 图3.32西蒙液化系统的T-s图 ◆1、He以环境温度和10~5MPa压力充入厚壁容器中; ◆2、用LN2冷却He至77K(TS图上2~3) ◆3、用L2冷却He至10K(TS图上35) 返回 ◆4、He绝热放气液化(TS图上5f)
1、He以环境温度和10~15MPa压力充入厚壁容器中； 2、用LN2冷却He至77K （T-S图上2~3） 3、用LH2冷却He至10K （T-S图上3~5） 4、He绝热放气液化 （T-S图上5~f） 西蒙氦液化系统 返回
8.2真空的获得 ◆真空的获得方法:机械、物理、化学、物 理化学 ◆获得真空的工具—真空泵: 机械泵机械的方法 扩散泵物理的方法 低温泵物理的方法 吸附泵物理、化学方法 返回
8.2 真空的获得 真空的获得方法：机械、物理、化学、物 理化学 获得真空的工具—真空泵： 机械泵 机械的方法 扩散泵 物理的方法 低温泵 物理的方法 吸附泵 物理、化学方法 返回
8.2.1机械泵 1两个主要作用 油 获得低真空 作为其它抽更高真空 泵(扩散泵、冷凝泵) 冷却水 的前级泵 ◆2旋片式机械泵 转子与泵体呈偏心 旋片靠弹簧紧贴在空 腔内表面 排气阀用油密封,防 图85旋片式机减泵结构示意图 止大气返流
8.2.1 机械泵 1 两个主要作用 – 获得低真空 – 作为其它抽更高真空 泵 (扩散泵、冷凝泵 ) 的前级泵 2 旋片式机械泵 – 转子与泵体呈偏心 – 旋片靠弹簧紧贴在空 腔内表面 – 排气阀用油密封，防 止大气返流