重科技院 CHONGQING UNIE RSTY OF SCIENCE A TEOINOI OGY 103真空系统 ≯质谱仪的离子源、质量分析器及检测器工作时,必须处于高真空状态,离 子源的真空度一般应<10-3Pa,质量分析器应<104Pa 若真空度低,则会发生以下现象: (1)微量的氧就会烧坏离子源的灯丝 (2)会使本底增高,干扰质谱图; (3)引起额外的离子-分子反应,改变裂解模型,使质谱解释复杂化; (4)干扰离子源中电子束的正常调节; (5)用作加速离子的几千伏高压会引起放电,等等
10.3 真空系统 ➢质谱仪的离子源、质量分析器及检测器工作时，必须处于高真空状态，离 子源的真空度一般应＜10－3Pa，质量分析器应＜10－4Pa。 若真空度低，则会发生以下现象： (1)微量的氧就会烧坏离子源的灯丝； (2)会使本底增高，干扰质谱图； (3)引起额外的离子-分子反应，改变裂解模型，使质谱解释复杂化； (4)干扰离子源中电子束的正常调节； (5)用作加速离子的几千伏高压会引起放电，等等
重科技院 CHONGQING UNIVE RSITY OF SCIENCE TEOINOIOGY 1031低真空泵—前级机械真空泵 低真空泵有两个用途 ①作为高真空泵的前级泵,提供高真空泵正常工作所需要的前级真空; ②预抽真空,为进样系统、离子源或整个仪器暴露大气后预抽真空。 ≯机械泵的一般要求抽速在120360L/min,极限真空0.1Pa。最常用的机械泵是旋 转式油封泵
10.3.1 低真空泵——前级机械真空泵 ➢低真空泵有两个用途： ①作为高真空泵的前级泵，提供高真空泵正常工作所需要的前级真空； ②预抽真空，为进样系统、离子源或整个仪器暴露大气后预抽真空。 ➢机械泵的一般要求抽速在120~360L/min，极限真空0.1Pa。最常用的机械泵是旋 转式油封泵
重科技院 CHONGQING UNIE RSTY OF SCIENCE A TEOINOI OGY 1032高真空泵—涡轮分子泵 图10-10是涡轮分子泵的基本结构图, 它有四个基本部分,即 ①带进气口法兰的泵壳; 强装有15~20对动轮叶和静轮叶的涡轮 ③中频电动机和润滑油循环系统构成的 驱动装 ④用于安装涡轮排和电动机的底座。 1—动轮叶;2一静轮叶;3—泵壳 4—中频电动机;5—底座;6电机冷却水
10.3.2 高真空泵——涡轮分子泵 ➢图10-10是涡轮分子泵的基本结构图， 它有四个基本部分，即： ①带进气口法兰的泵壳； ②装有15～20对动轮叶和静轮叶的涡轮 排； ③中频电动机和润滑油循环系统构成的 驱动装置； ④用于安装涡轮排和电动机的底座。 1—动轮叶；2—静轮叶；3—泵壳； 4—中频电动机；5—底座；6—电机冷却水 管