2.2真空的获得 压强Tom 1010 10-8 106 104 10-2 102 100 D DP.TM.CP.TMh MD RP 80 IP 40 TMI \TMh 20 RP MD CP DP 0 108 106 104 10-2 1 102 104 压强/Pa MD一机械式干式泵； TMh一涡轮分子泵（混合式）；TM一涡轮分子泵； RP一两级式油封机械泵：DP一油扩散泵； IP一溅射离了泵； CP一低温冷凝吸附泵 图3一1各种泵的抽速比较 电子料发女学 UniersityfrScinced fChina
2.2真空的获得 MD一机械式干式泵； TMh一涡轮分子泵（混合式)； TM一涡轮分子泵； RP一两级式油封机械泵；DP一油扩散泵； IP一溅射离了泵； CP一低温冷凝吸附泵 图3—1 各种泵的抽速比较
2.2真空的获得 2.2.1旋片式机械泵(Rotary Pump) 情气管 (a)外观 (b)内部结构 3、压缩 4、排气 (c)工作原理 机械泵：利用机械运动部件转动或滑动形成的输运作用获得真空的泵 分类：旋片式（最常见）、定片式、滑阀式 运转模式：吸气→压缩→排气（不断循环） 墓本特点：需真空油密封；可从大气压开始工作： 低真空→可单独使用；高真空一作为前级泵使用 工作区间：单级：103一1Pa;双级：103一102Pa 优、缺点：结构简单、工作可靠；有油污染的问题。 电召转枝女学 University of Electronic Science and Technology of China
2.2真空的获得 2.2.1 旋片式机械泵（Rotary Pump） 机械泵：利用机械运动部件转动或滑动形成的输运作用获得真空的泵 分类：旋片式（最常见）、定片式、滑阀式 运转模式：吸气→压缩→排气（不断循环） 墓本特点：需真空油密封；可从大气压开始工作； 低真空→可单独使用；高真空→作为前级泵使用 工作区间：单级： —1Pa；双级： — Pa 优、缺点：结构简单、工作可靠；有油污染的问题。 （c）工作原理 5 10 5 10 2 10