扩散泵结构及工作原理示意图 进气口 冷却水 排气口 2345 冷却水 M M"MM导体薄膜的制备和性能测试实验的特殊性及教学尝试12
半导体薄膜的制备和性能测试实验的特殊性及教学尝试 12 扩散泵结构及工作原理示意图
涡轮分子泵结构示意图 动叶轮 立体涡轮分子泵结构原理 1.动叶轮:2.泵壳;3.涡轮排; :.中频电动机;5.底座;6.出气口法 润滑油池;8.静叶轮;9.电机冷却水管 M"MM导体薄膜的制备和性能测试实验的特殊性及教学尝试13
半导体薄膜的制备和性能测试实验的特殊性及教学尝试 13 涡轮分子泵结构示意图
真空测量系统-热偶规 热偶规工作原理: 一对热电偶A、B与一对加热钨丝焊接在一起, 在电流恒定不变时,热丝温度取决于管内气体的 热导率K,K正比于分子平均自由程和气体浓度. 在-1托至-4托范围内,随着真空度的提高,电偶电动 势也增加,因而可由热电偶电动势的变化来表示管 内气体的压强 K (需要注意的是,当真空度更高时,由于热传导非常 小,电偶电动势变化不明显时,就需要改用其它方法 测量了) 热电偶规管及其 电路原理 M"MM导体薄膜的制备和性能测试实验的特殊性及教学尝试14
半导体薄膜的制备和性能测试实验的特殊性及教学尝试 14 热偶规工作原理： 一对热电偶A、B与一对加热钨丝焊接在一起， 在电流恒定不变时，热丝温度取决于管内气体的 热导率K，K正比于分子平均自由程和气体浓度. 在-1托至-4托范围内,随着真空度的提高,电偶电动 势也增加,因而可由热电偶电动势的变化来表示管 内气体的压强. (需要注意的是,当真空度更高时,由于热传导非常 小,电偶电动势变化不明显时,就需要改用其它方法 测量了) 真空测量系统----热偶规
真空测量系统-热阴极电离规 热阴极电离规工作原理: 从发射极F发射出电子 经过栅极G使电子加速加速 电子打中管内气体分子时,使 气体分子电离正离子被收集 极C吸收收集极电路中的微 安表记录正离子流的变化, 而电子流在栅极附近作若干 次振荡后被栅极吸收,由栅极 电路中的亳安表记录电子流Ie 需要注意的是:真空度低于 3托时不能用电离规直接测量 原因是在低真空条件下,加热的 电极引纬 灯丝容易氧化而烧断 电离计线路图 昔通电离计规 M"MM导体薄膜的制备和性能测试实验的特殊性及教学尝试15
半导体薄膜的制备和性能测试实验的特殊性及教学尝试 15 热阴极电离规工作原理: 从发射极F发射出电子, 经过栅极G使电子加速,加速 电子打中管内气体分子时,使 气体分子电离,正离子被收集 极C吸收,收集极电路中的微 安表记录正离子流Ii的变化, 而电子流在栅极附近作若干 次振荡后被栅极吸收,由栅极 电路中的毫安表记录电子流Ie. 需要注意的是:真空度低于 -3托时不能用电离规直接测量, 原因是在低真空条件下,加热的 灯丝容易氧化而烧断. 真空测量系统----热阴极电离规