在Cu中的扩散 蔡金明(09904089) 李亮(09904035) Department of physics, peking university
Department of physics，peking university In在Cu中的扩散 蔡金明（09904089 09904089） 李 亮（09904035 09904035）
角容欐要 O实验背景 O实验方法和内容 O实验结果与分析 O小结与分析 O展望 o参考书目 Department of physics, peking university
Department of physics，peking university 内容概要 { 实验背景 { 实验方法和内容 实验方法和内容 { 实验结果与分析 实验结果与分析 { 小结与分析 { 展望 { 参考书目 Department of physics，peking university
实验背景 oIn可作Cu质外延的活化剂 o室温下Cu表面原子的运动比想象中要 活跃得多 O卢瑟福背散射的实验方法特别适合于 研究重元素在轻基体中的掺杂 o随着Si电子器件尺度的减小,人们对 金属在Si中的性质给予极大兴趣。 Department of physics, peking university
Department of physics，peking university 实验背景 { In可作Cu质外延的活化剂 质外延的活化剂 { 室温下Cu表面原子的运动比想象中要 表面原子的运动比想象中要 活跃得多 { 卢瑟福背散射的实验方法特别适合于 卢瑟福背散射的实验方法特别适合于 研究重元素在轻基体中的掺杂 研究重元素在轻基体中的掺杂 { 随着Si电子器件尺度的减小，人们对 电子器件尺度的减小，人们对 金属在Si中的性质给予极大兴趣。 中的性质给予极大兴趣
实验向容和方法 实验内容 1.衬底:SO2(Ca);S(100 结构:Cu-In-Cu-衬底 实验温度 室温加热200度退火20)度 第一层Cu(A) 6000(空气) 0.5 In层厚度(A) 2.0 10.0 第三层Cu(A) 50.0(衬底) tabe.1(实际厚度有波动) Department of physics, peking university
Department of physics，peking university 实验内容和方法 实验内容和方法 { 实验内容 Department of physics，peking university 10.0 第一层Cu（Å ） 600.0（空气） 第三层Cu（Å ） 50.0（衬底） In层厚度（Å ） 2.0 0.5 实验温度 室温 加热200度 退火200度 1. 衬底: SiO2(Ca);Si(100) (Ca);Si(100) 结构: Cu－In－Cu－衬底 table. 1 table. 1（实际厚度有波动）
实验方法和角容 2衬底:SiO2(Ca);NaCl 结构:Cu-In-Cu-衬底 实验温度 室温 退火200度 第一层Cu(A)6000(大气)6000(大气) In层厚度(A) 0.5/10.0 0.5/10.0 第三层Cu(A)600(衬底)6000(衬底) table2(实际厚度有波动) Department of physics, peking university
Department of physics，peking university 实验方法和内容 实验方法和内容 第三层Cu（Å ） 600.0（衬底） 600.0（衬底） 第一层Cu（Å ） 600.0（大气） 600.0（大气） In层厚度（Å ） 0.5/10.0 0.5/10.0 0.5/10.0 0.5/10.0 实验温度 室温 退火200度 table. 2 table. 2（实际厚度有波动） Department of physics，peking university 2.衬底：SiO2（Ca）；NaCl 结构：Cu－In－Cu－衬底