集成化智能传感器不同的传感器·压力传感器+双轴加速度传感器微控制器控制和数据转换网络器件SMARTMOSINRF发送器图5、MPXY8300新一代电容传感器
集成化智能传感器 2. 集成化实现 这种智能传感器系统是用微机械加工技术和大规模集成电 路工艺技术，利用硅作为基本材料来制作敏感元件、信号调理 电路、微处理单元，并把它们集成在一块芯片上而构成的。故 又可称为集成智能传感器（integrated smart/intelligent sensor ）。其外形如图所示
集成化智能传感器-BAWfilters-BAWduplexers-RFswitch/variablecapacitoMEMSmicro-mirror.TcxOoscillators09-AccelerometerQPAOR.GyroscopePicronrojecto·Electroniccompass-Pressure sensoraackO5hdCPUR·cMosImageSensor-Auto-FocusactuatorOE-IPTIntermotof ThinasSAo·Frontcamera·ALS&Proximitysensor-Microdisplay工Siliconmicrophone
集成化智能传感器 这类集成化智能传感器以硅材料为基础，采用微米（1µm~1mm） 级的微机械加工技术和大规模集成电路工艺来实现各种集成智 能传感器系统的微米级尺寸化，其特点： （1）微型化。微型压力传感器已经可以小到放到注射针头内送 进血管测量血液流动情况，装在飞机或发动机叶片表面用以测 量气体的流速和压力。目前最新研究成功的微型加速度计可以 使火箭或飞船的制导系统质量从几公斤下降至几克