表10-2扫描电子显微镜景深 景 深 效大倍数 分辨宰 场 光学显徽钱 扫描电镜 (OM) (SEM) 1 0.2mm 100mm 10 0.02mm 10 mm 1~10 mm 100 2 gsm 1mm 0.1 mm 0.1~1mm 1000 02m 0.1mm 1 10-100m 10000 20 nm 10 gm 约1m 100000 2 mn 14m 26
26 表10-2扫描电子显微镜景深
(a) () 图32多孔硅的两种图像比较 (a)光学显微镜图像(b)扫描电子显微镜图像 光学显微镜下图象景深很小，只能看清硅柱在某一高度附近的形貌，成 像质量差。 电子扫描显微镜下图象景深很大，多孔硅不同高度下都能看到清晰的 像，分辨率高， 能得到完整的多孔硅形貌像。 27
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SEM的成像 圖素(picture element) 多 電子束<圓素 图素 電子束=圖素 電子束 電子束>圖素 電子束大小奥圖素大小之比較
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SEM的成像 20um 1um d 05um |1l.I9(a)到(d):破裂面的影像说明無意義之放大作用的效果。(a)到(c) 29 颜示如微的讯息而在(d删棱燥燮模糊了。電子能量高15kV。四
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SEM的成像 景深(depth of field);電子束的大小，小於圖素的範圍内(D) LEESSLSL88808688400 S4N丰孔巡 tana=a= 電子束 D/2 WD D=2r/a 聚焦範圍外 α：電子束發散鱼 r:電子束生徑 聚焦面 試片 物镜光 圖6-8SEM影像的景深示意圖 -d/M 图3-35焦深定义示意图
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