微细加工 微型涡喷发动机1
微细加工 微型涡喷发动机_1
微细加工 微型涡喷发动机2
微细加工 微型涡喷发动机_2
微细加工 大小:5×5×10mm
微细加工 大小:5×5 ×10mm
微细加工 微细加工的概念 微细加工技术是指微小尺寸零件的生产加工技术。从广 义的角度来说,微细加工包括:切削加工、磨料加工、电 火花加工、电解加工、化学加工、超声波加工、微浪加工 等离子加工、外延生长、激光加工、电子束加工、离子束 加工、光刻加工、电铸加工等。从狭义的角度来说,微细 加工主要是指半导体集成电路制造技术。 它是在半导体集成电路制造技术的基础上形成并发展的, 是大规模集成电路和计算机技术的基础,是信息时代、微 电子时代、光电子时代的关键制造技术之 在微细加工时,由于加工尺寸很小,精度是用去除材料 大小的绝对值来表示,引入了加工单位尺寸的概念。加工 单位尺寸简称加工单位,它表示去除材料的大小,例如: 原子加工单位表示能去除一个原子
微细加工 微细加工的概念 微细加工技术是指微小尺寸零件的生产加工技术。从广 义的角度来说,微细加工包括:切削加工、磨料加工、电 火花加工、电解加工、化学加工、超声波加工、微波加工、 等离子加工、外延生长、激光加工、电子束加工、离子束 加工、光刻加工、电铸加工等。从狭义的角度来说,微细 加工主要是指半导体集成电路制造技术。 它是在半导体集成电路制造技术的基础上形成并发展的, 是大规模集成电路和计算机技术的基础,是信息时代、微 电子时代、光电子时代的关键制造技术之一。 在微细加工时,由于加工尺寸很小,精度是用去除材料 大小的绝对值来表示,引入了加工单位尺寸的概念。加工 单位尺寸简称加工单位,它表示去除材料的大小,例如: 原子加工单位表示能去除一个原子
微细加工 微细尺寸加工和一般尺寸加工的不同点 1.精度的表示方法 般尺寸加工时,精度是用加工误差与加工尺寸的比值来 表示的。在微细加工时,精度是用尺寸的绝对值来表示的 2微观机理 般加工允许的吃刀量比较大,切屑比较大;微细加工 由于强度和刚度都不允许有大的吃刀量,切屑很小。当吃刀 量小于材料晶粒直径时,切削就得在晶粒內进行。 3.加工特征 一般加工多以尺寸、形状、位置精度为加工特征,微细加 工却以分离或结合原子、分子为加工对象,以电子束、离子 束、激光束三束加工为基础,采用沉积、刻蚀、溅射、蒸镀 等手段进行各种处理
微细加工 微细尺寸加工和一般尺寸加工的不同点 1.精度的表示方法 一般尺寸加工时,精度是用加工误差与加工尺寸的比值来 表示的。在微细加工时,精度是用尺寸的绝对值来表示的。 2.微观机理 一般加工允许的吃刀量比较大,切屑比较大;微细加工, 由于强度和刚度都不允许有大的吃刀量,切屑很小。当吃刀 量小于材料晶粒直径时,切削就得在晶粒内进行。 3.加工特征 一般加工多以尺寸、形状、位置精度为加工特征,微细加 工却以分离或结合原子、分子为加工对象,以电子束、离子 束、激光束三束加工为基础,采用沉积、刻蚀、溅射、蒸镀 等手段进行各种处理