6.8功能陶瓷薄膜 第六章功能陶瓷 概述 。以金属氧化物、金属氮化物、金属碳化物或 金属间化合物等无机化合物为原料，采用特 殊工艺在一定材料（衬底、基片或底材）的 表面上涂覆厚度约0.01至数微米的一层或 多层涂层材料，称为陶瓷薄膜
6.8 功能陶瓷薄膜 第六章 功能陶瓷 一 概述 ⚫ 以金属氧化物、金属氮化物、金属碳化物或 金属间化合物等无机化合物为原料，采用特 殊工艺在一定材料（衬底、基片或底材）的 表面上涂覆厚度约0.01至数微米的一层或 多层涂层材料，称为陶瓷薄膜
6.8功能陶瓷薄膜 第六章功能陶瓷 ●对薄膜的“厚度”，不同研究者定义不一。 ●有的将厚度0.01~1μm的涂层材料称为薄膜， 将厚度5~20μm的称为厚膜。 ●有的则将厚度小于25ym的涂层材料称为薄 膜，将厚度大于25m的称为厚膜
6.8 功能陶瓷薄膜 第六章 功能陶瓷 ⚫ 对薄膜的“厚度”，不同研究者定义不一。 ⚫ 有的将厚度0.01~1μm的涂层材料称为薄膜， 将厚度5~20μm的称为厚膜。 ⚫ 有的则将厚度小于25μm的涂层材料称为薄 膜，将厚度大于25μm的称为厚膜
6.8功能陶瓷薄膜 第六章功能陶瓷 。陶瓷薄膜种类繁多，表6-10列出了主要陶 瓷薄膜应用分类。 ●按照用途分，可将陶瓷薄膜分为功能陶瓷薄 膜和结构陶瓷薄膜，前者是利用薄膜材料本 身作成元器件，后者主要是增加底材（或衬 底)的使用功能
6.8 功能陶瓷薄膜 第六章 功能陶瓷 ⚫ 陶瓷薄膜种类繁多，表6-10列出了主要陶 瓷薄膜应用分类。 ⚫ 按照用途分，可将陶瓷薄膜分为功能陶瓷薄 膜和结构陶瓷薄膜，前者是利用薄膜材料本 身作成元器件，后者主要是增加底材（或衬 底）的使用功能
6.8功能陶瓷薄膜 第六章功能陶瓷 ●功能陶瓷薄膜是近年迅速发展的一个新的技 术动向。 ●它适应集成化、智能化、微型化和多功能等 技术发展趋势。 ●对高性能光电、铁电、压电、超导和铁磁等 薄膜器件有着重要意义
6.8 功能陶瓷薄膜 第六章 功能陶瓷 ⚫ 功能陶瓷薄膜是近年迅速发展的一个新的技 术动向。 ⚫ 它适应集成化、智能化、微型化和多功能等 技术发展趋势。 ⚫ 对高性能光电、铁电、压电、超导和铁磁等 薄膜器件有着重要意义
6.8功能陶瓷薄膜 第六章功能陶瓷 400mm 400g 纳米AgTO2光催化剂薄膜
纳米Ag/TiO2光催化剂薄膜 6.8 功能陶瓷薄膜 第六章 功能陶瓷