UESTC 薄膜电路 主要用以制作电阻器和电容器。可通过激光修条精确调整 蚀等。所需设备复杂,费用较高。典型膜厚1000506篱 阻值,性能和温度特性优良。主要工艺涂敷、淀积、光刻 °混合IC( Hybrid IC) —指将两个或更多的不同类型集成电路芯片、有时也包括 些分立元件,组合成一个整体,密封在一个管壳内,构成所 谓HIC。HC一般体积较大,但性能得以提高。 本课程的研究对象为以硅单晶为衬底的半导体集成电路或 微电子集成电路
16 ❖ 薄膜电路 ——主要用以制作电阻器和电容器。可通过激光修条精确调整 阻值，性能和温度特性优良。主要工艺涂敷、淀积、光刻、腐 蚀等。所需设备复杂，费用较高。典型膜厚1000500Å。 • 混合IC（Hybrid IC） ——指将两个或更多的不同类型集成电路芯片、有时也包括 一些分立元件，组合成一个整体，密封在一个管壳内，构成所 谓HIC。HIC一般体积较大，但性能得以提高。 本课程的研究对象为以硅单晶为衬底的半导体集成电路或 微电子集成电路
UESTC 按器件结构类型分类 双极集成电路:主要由双极鼠你管构成 只含NPN型晶体管的双极集成中优点是速度高、驱动能力强 含NPN型及PNP型晶体管的双极缺点是功耗较大、集成度较低 金属氧化物半导体MOS)集成电路:主要由 MOS晶体管(单极晶体管)构成 NMOS PMOS 功耗低、集成度高,随着特征 尺寸的缩小,速度也可以很高 CMOS(互补MOS 双极-MOS(Bi-MOS)集成电路:同时包括双 极和MOS晶体管的集成电路为Bi-MOS集成电路, 了双极和MOS器件两者的优点,但制作工艺 复杂
17 按器件结构类型分类 双极集成电路：主要由双极晶体管构成 – 只含NPN型晶体管的双极集成电路（数字电路） – 含NPN型及PNP型晶体管的双极集成电路（模拟电路） 金属-氧化物-半导体(MOS)集成电路：主要由 MOS晶体管(单极晶体管)构成 – NMOS – PMOS – CMOS(互补MOS) 双极-MOS (Bi-MOS)集成电路：同时包括双 极和MOS晶体管的集成电路为Bi-MOS集成电路， 综合了双极和MOS器件两者的优点，但制作工艺 复杂 优点是速度高、驱动能力强， 缺点是功耗较大、集成度较低 功耗低、集成度高，随着特征 尺寸的缩小，速度也可以很高
规摸大小通常按集成度或每个芯片的门数来划分, 如下表所示(以逻辑IC为例)。 集成电路规模的划分 IC规模的 SSIMSI LSI ⅤLSI ULSI GSI 划分 芯片所含102102103 103-10 10510 107-10 元件数 芯片所含1010102 102-104 104106 106-108 门数 此外,还有按其他标准的一些IC分类,如按电路功能和所处理 信号的不同,可分数字或逻辑C( Digital// Logic IC)、模拟IC ( Analog c)和数模混合IC( Digital-Analog mixed c);根 据所用晶体管的不同,又可分为双极型IC和MOS型IC
18 规摸大小通常按集成度或每个芯片的门数来划分， 如下表所示（以逻辑IC为例）。 集成电路规模的划分 IC规模的 划分 SSI MSI LSI VLSI ULSI GSI 芯片所含 元件数 <102 102~103 103~105 105~107 107~109 >109 芯片所含 门数 < 10 10~ 102 102~104 104~ 106 106~108 >108 此外，还有按其他标准的一些IC分类，如按电路功能和所处理 信号的不同，可分数字或逻辑IC（Digital/Logic IC）、模拟IC （Analog IC）和数模混合IC（Digital-Analog Mixed IC）；根 据所采用晶体管的不同，又可分为双极型IC和MOS型IC
UESTC 按集成电路规模分类 集成度:每块集成电路芯片中包含的元器件数目 小规模集成电路(Smal! Scale ic,SSD 中规模集成电路( Medium Scale io,MSD 大规模集成电路( Large scale IC,LSD 超大规模集成电路( Very large scale Ic,VLSI 特大规模集成电路( Ultra Large Scale IC,ULSD 巨大规模集成电路( Gigantic scale c,GSI) 尽管英语中有VLSI,ULS和GSL分,但VLSI使用最频 繁,其含义往往包括了ULS和GSI。中文中把ⅤLS译为超 大规模集成,更是包含了ULSI和GS的意义
19 按集成电路规模分类 集成度：每块集成电路芯片中包含的元器件数目 小规模集成电路(Small Scale IC，SSI) 中规模集成电路(Medium Scale IC，MSI) 大规模集成电路(Large Scale IC，LSI) 超大规模集成电路(Very Large Scale IC，VLSI) 特大规模集成电路(Ultra Large Scale IC，ULSI) 巨大规模集成电路(Gigantic Scale IC，GSI） 尽管英语中有VLSI，ULSl和GSI之分，但VLSI使用最频 繁，其含义往往包括了ULSI和GSI。中文中把VLSI译为超 大规模集成，更是包含了ULSI和GSI的意义
UESTC 划分集成电路规模的标准 类别 MOS数字IC双极数字IC模拟C SSI <102 <100 <30 MSI 102-103 100-500 100-300 SI 103-10 5002000 100300 VL SI 105-10 2000> 300 ULSI 107-10 GSI 10> 请注意数字IC和模拟IC规模标准的不同:数字 IC中有很多重复单元,特别是存储器电路。而模拟 IC中的各个单元都是经过专门设计的
20 划分集成电路规模的标准 请注意数字IC和模拟IC 规模标准的不同：数字 IC中有很多重复单元，特别是存储器电路。而模拟 IC中的各个单元都是经过专门设计的。 类别 MOS数字 IC 双极数字IC 模拟IC SSI <102 <100 <30 MSI 102—103 100—500 100—300 LSI 103—105 500—2000 100—300 VLSI 105—107 2000 > 300 > ULSI 107—109 GSI 109>