5.2SEM的像衬度原理及其应用 二次电子像具有高的分辨率用于表面形貌的观察。 高的加速电压的缺点： 由于电子束的深度和扩展范围随加速电压的提高而扩大， 因此，影响了样品浅表面形貌图像的分辨率。 低的加速电压的缺点： 1)低的加速电压有较高的电子束能量的变化，经聚光镜 聚焦样品上，产生较大的色差，导致分辨率的下降； 2)低的加速电压降低了二次电子的产额，以致能被检测 器检测的二次电子显著减少，诸多区域不能被显示出来 为此，日立公司于2007年在场发射扫描电子显微镜开发了 电子减速技术。通过电子束控制技术，将k下的分辨率 提高了30%。工作原理见图5一12
5.2 SEM的像衬度原理及其应用 二次电子像具有高的分辨率用于表面形貌的观察。 高的加速电压的缺点： 由于电子束的深度和扩展范围随加速电压的提高而扩大， 因此，影响了样品浅表面形貌图像的分辨率。 低的加速电压的缺点： 1）低的加速电压有较高的电子束能量的变化，经聚光镜 聚焦样品上，产生较大的色差，导致分辨率的下降； 2）低的加速电压降低了二次电子的产额，以致能被检测 器检测的二次电子显著减少，诸多区域不能被显示出来 为此，日立公司于2007年在场发射扫描电子显微镜开发了 电子减速技术。通过电子束控制技术，将1kV下的分辨率 提高了30％。工作原理见图5－12
电子减速技术原理 在样品接可调节的负电压（最大2000-4000V),对负电子排斥，由此在样品 和物镜之间形成减速场，，从而起到对初始电子束到达样品前的减速作用，因 此样品上的负电压称为减速电压。当电子束到达样品时的电压称为着陆电压。 着陆电压=加速电压一减速电压 当低着陆电压的电子束轰击样品在浅表面产生二次电子，这些二次电子收到 减速场的排斥而加速向上运动而被二次电子检测器所接受，因此， 采用电子 减速技术与直接采用降低加速电压的方法相比，前者不仅具有更高的分辨率 而且具有更高的接受率，其表现为图像更清晰更明亮。 减速电压技术的缺点： 1)样品表面必须垂直电子束方向，否则从样品激发的二次电子受到不对称减 速场的加速作用，图像形貌变形，不能反映真实形貌： 2)不能在高的加速电压（具有小的像散）下获得低的着陆电压。因此。减速 技术应用的加速电压通常小于5kV
电子减速技术原理 在样品接可调节的负电压（最大2000-4000V），对负电子排斥，由此在样品 和物镜之间形成减速场，从而起到对初始电子束到达样品前的减速作用，因 此样品上的负电压称为减速电压。当电子束到达样品时的电压称为着陆电压。 着陆电压＝加速电压－减速电压 当低着陆电压的电子束轰击样品在浅表面产生二次电子，这些二次电子收到 减速场的排斥而加速向上运动而被二次电子检测器所接受，因此，采用电子 减速技术与直接采用降低加速电压的方法相比，前者不仅具有更高的分辨率 而且具有更高的接受率，其表现为图像更清晰更明亮。 减速电压技术的缺点： 1）样品表面必须垂直电子束方向，否则从样品激发的二次电子受到不对称减 速场的加速作用，图像形貌变形，不能反映真实形貌； 2）不能在高的加速电压（具有小的像散）下获得低的着陆电压。因此。减速 技术应用的加速电压通常小于5kV
电子减速的效果 00AV1t1f4以L0 4ggW14wm4年4为 若陆电压：500V 加速电压：500V 5一13着陆电压为500V(a)和加速电压 为500V(b)时对金颗粒观察的比较
电子减速的效果 5－13 着陆电压为500V（a）和加速电压 为500V(b)时对金颗粒观察的比较
不同电子减速的效果 着陆电压：500V 若陆电玉：100V 图5一14着陆电压分别为500V和100V时的 氟化树脂层的表面形貌
不同电子减速的效果 图5－14 着陆电压分别为500V和100V时的 氟化树脂层的表面形貌
5.2SEM的像衬度原理及其应用 5.2.3原于序数衬度 原理 背散射电子 原子序数衬度是 利用对样品微区 Mo 入射电子束 原子序数或化学 样品表面 成分变化敏感的 物理信号作为调 二次电子 制信号得到的一 204008010— 种显示微区化学 成分差异的像衬 度
5.2 SEM的像衬度原理及其应用 5.2.3原于序数衬度 原理 原子序数衬度是 利用对样品微区 原子序数或化学 成分变化敏感的 物理信号作为调 制信号得到的一 种显示微区化学 成分差异的像衬 度