4.2.2变面积式电容传感器U1变面积型电容传感器1固定极板2动极板变面积型电容传感器1固定极板2动极板1变面积型电容传感器132009年9月1固定极板2动极板126.com
2009年9月 ZUST 阮 spruan@126.com 13 4.2.2 变面积式电容传感器
动极板移动了4x后动极板动极板b(a-Ax)CudAx定极板eb定极板Ar(b)(a)O变面积式电容传感器图4-8(a）直线位移式：（b）角位移式S△C=Cx-C。=-一LXCo = cab / d△CcbKAxd2009年9月14
2009年9月 ZUST 阮 spruan@126.com 14 动极板移动了Δx后 x d b C = Cx −C = − 0 C0 = ab / d d b x C K = = −
*图4-2e中,相当有n个电容并联R(e)齿数为n时，移动△后电容为Eb0ACr=n(CodnebAC=CI-nCo-d灵敏度为ACebKndAr2009年9月15ZUST阮 spruan@126.com
2009年9月 ZUST 阮 spruan@126.com 15 *图4-2e中,相当有n个电容并联:
P*图4-8(b)角位移电容传感器动极板一定极板当日=0时，ES(b)Cod当0时，eS(1-66/元2=Co(1-0/元）Ce=d0△C=Ce-Co=-0CO元灵敏度Ke为ACK.Co/元0162009年9月ZUST院spruan(@126.com
2009年9月 ZUST 阮 spruan@126.com 16 *图4-8(b)角位移电容传感器
4.2.2变介电常数式电容传感器空气隙电极间隙为:a面积S极板101介质厚度为:d#8I自极板2EOS图4-9变介电常数式电容传感器C=-a-d+d/ereOS1.如&→C+AC=a-d+d/er+er)电容量的相对变化为（推导见本章附录B）&,+4cDeAC1EN21+N3(Aer/er)CEr11式中N2=1+[e(a-d)/d]1+[d/er(a-d)]在N3（er/e）<1时，式（4-25）可写成5DeAeAEACAE2009年9月N3C33E
2009年9月 ZUST 阮 spruan@126.com 17 4.2.2 变介电常数式电容传感器 电极间隙为:a 介质厚度为:d 1.如εr → εr+Δε