中国科学技术大学物理系微电子专业 液体 合金法 n - p 图6-2 收嫣接触 图62合金法制造P-n结过程 A 图6-3 N 图63突变结的杂质分 2021/130 Semi conductor Physics
中国科学技术大学物理系微电子专业 Semiconductor Physics 2021/1/30 6 图6-2 图6-3 合金法
中国科学技术大学物理系微电子专业 P型杂 扩散法 n型Si 欧螃拔愈 图6-4扩散法制造pn结过程 N(x N (x) 离子注入法 P-N Junction formation N(x, t) (a) L. Fabrication by Diffusion DRIVE-IN I PREDEP N(x)=N erfc- N(x1) 2021/1/30 Semi conductor Physics
中国科学技术大学物理系微电子专业 Semiconductor Physics 2021/1/30 7 扩散法 离子注入法
中国科学技术大学物理系微电子专业 ★PN结的基本概念 空间电荷区: ◆在结面附近,由于存在载流子浓度梯 度,导致载流子的扩散 ◆扩散的结果:在结面附近出现静电荷 分布-空间电荷(电离施主,电离受主 ◆空间电荷区中存在电场-内建电场,内 建电场的方向:n→>p,在内建电场作用下, 载流子要作漂移运动 2021/130 Semiconductor Physic
中国科学技术大学物理系微电子专业 Semiconductor Physics 2021/1/30 8 ★ PN结的基本概念 ①空间电荷区: ♦ 在结面附近, 由于存在载流子浓度梯 度,导致载流子的扩散. ♦ 扩散的结果: 在结面附近,出现静电荷 分布--空间电荷(电离施主,电离受主). ♦ 空间电荷区中存在电场--内建电场,内 建电场的方向: n→p . 在内建电场作用下, 载流子要作漂移运动
中国科学技术太学物理系微电子专业 pe p-type C Before contact current contact current E ↓==.==·===.==·==== C ●●0●● E HHi brium hole SCR一 2021/130 Semi conductor Physics
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中国科学技术大学物理系微电子专业 ②热平衡pn结及其能带图: ◆当无外加电压,载流子的流动终将达到 动态平衡(漂移运动与扩散运动的效果相 抵消,电荷没有净流动),p结有统一的 (平衡pn结) ◆结面附近存在内建电场,造成能带弯 曲,形成势垒区(即空间电荷区) 2021/130 Semiconductor Physic
中国科学技术大学物理系微电子专业 Semiconductor Physics 2021/1/30 10 ②热平衡pn结及其能带图: ♦当无外加电压, 载流子的流动终将达到 动态平衡(漂移运动与扩散运动的效果相 抵消, 电荷没有净流动), pn结有统一的EF (平衡pn结) ♦ 结面附近,存在内建电场,造成能带弯 曲,形成势垒区(即空间电荷区)