当某一原误差不等于零,其他误差为零时,由这个原误差引起的仪 器误差为: Vi=yi-yo 物理意义:4y是由某一原误差△q1单独作用造成的仪器误差 又称局部误差。 △Q 注意: 在仪器加工前,仪器的实际方程不知道,输出偏导数无意义, 但 y≈y+∑ lonGi 可用理想方程式偏导数代替实际输出方程是偏导数 △Q
当某一原误差不等于零，其他误差为零时，由这个原误差引起的仪 器误差为： 物理意义： 是由某一原误差 单独作用造成的仪器误差， 又称局部误差。 注意： 在仪器加工前，仪器的实际方程不知道，输出偏导数无意义。 但 可用理想方程式偏导数代替实际输出方程是偏导数 i i i i i i q q y y y y y = − 0 = i y qi i n i i q q y y y +=1 0 0 i i i q q y Q = i i i q q y Q = 0
若仪器有关特性参数都具有误差,且各源误差相互独立时有 ay △1 ∑。M=∑PAQ 个源误差仅使仪器产生一个局部误差。局部误差是源 误差的线性函数.与其他源误差无关,仪器总误差是 局部误差的综合,这就是误差独立作用原理。因此, 可以用逐个计算源误差所引起的局部误差,然后用综 合局部误差的方法计算仪器总误差 注意:误差独立作用原理是近似原理,但在大多数情况 下都能适用
若仪器有关特性参数都具有误差，且各源误差相互独立时有 一个源误差仅使仪器产生一个局部误差。局部误差是源 误差的线性函数．与其他源误差无关，仪器总误差是 局部误差的综合，这就是误差独立作用原理。因此， 可以用逐个计算源误差所引起的局部误差，然后用综 合局部误差的方法计算仪器总误差。 注意：误差独立作用原理是近似原理，但在大多数情况 下都能适用。 i n i i i n i i q P Q q y y = = =1 =1 0
、微分法:对作用原理方程求全微分 条件:当源误差为各特性参数或结构参数误差时,且能 列出全部或局部的作用原理方程。 激光干涉测长仪的误差分析与计算 M 本 1激光测长仪工作原理
二、微分法：对作用原理方程求全微分 条件：当源误差为各特性参数或结构参数误差时，且能 列出全部或局部的作用原理方程。 激光干涉测长仪的误差分析与计算 1.激光测长仪工作原理